压电薄膜共振器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100578928C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200580029867.9

    申请日:2005-05-09

    CPC classification number: H03H9/173 H03H9/02133

    Abstract: 一种压电薄膜共振器(10)具备基板(11)、薄膜部和增强膜(19a、19b)。薄膜部具有由基板(11)支撑的至少两处的支撑部分和与基板(11)隔开间隔配置并由支撑部分支撑的浮起部分。浮起部分包括压电薄膜(18)和夹持压电薄膜(18)并对置的一对激振电极(17a、17b)。增强膜(19a、19b)形成在薄膜部的支撑部分和浮起部分之间的边界附近部分。从而能够提供一种不破坏共振特性、确保膜片的强度且使安装时的处理容易的压电薄膜共振器。

    压电薄膜共振器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101010875A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200580029867.9

    申请日:2005-05-09

    CPC classification number: H03H9/173 H03H9/02133

    Abstract: 一种压电薄膜共振器(10)具备基板(11)、薄膜部和增强膜(19a、19b)。薄膜部具有由基板(11)支撑的至少两处的支撑部分和与基板(11)隔开间隔配置并由支撑部分支撑的浮起部分。浮起部分包括压电薄膜(18)和夹持压电薄膜(18)并对置的一对激振电极(17a、17b)。增强膜(19a、19b)形成在薄膜部的支撑部分和浮起部分之间的边界附近部分。从而能够提供一种不破坏共振特性、确保膜片的强度且使安装时的处理容易的压电薄膜共振器。

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