公开(公告)号：CN106062566B

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201580010996.7

申请日：2015-02-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维尔·阿赫泰 ,  维尔-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 一种微机电器件，包括第一结构层和可移动块，该可移动块被悬挂以进行相对于第一结构层的主离面运动。在可移动块中蚀刻有悬臂式运动限制器结构，并且在第一结构层上布置有与悬臂式运动限制器结构相对的第一止挡元件。利用元件间距的优化使用来实现改进的机械鲁棒性。

公开(公告)号：CN106062566A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580010996.7

申请日：2015-02-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维尔·阿赫泰 ,  维尔-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 一种微机电器件，包括第一结构层和可移动块，该可移动块被悬挂以进行相对于第一结构层的主离面运动。在可移动块中蚀刻有悬臂式运动限制器结构，并且在第一结构层上布置有与悬臂式运动限制器结构相对的第一止挡元件。利用元件间距的优化使用来实现改进的机械鲁棒性。