公开(公告)号：CN107710602A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680034000.0

申请日：2016-06-13

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 高桥星太 ,  开田弘明 ,  牧野贤誉 ,  新家博之

IPC: H03H3/04 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H3/04 ,  H03H9/0509 ,  H03H9/0519 ,  H03H9/10 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/132 ,  H03H9/19 ,  H03H2003/0414 ,  H03H2003/0428

Abstract: 压电振子(1)的制造方法包括：经由导电性粘合剂(340、342)将压电振动元件(100)安装于基座部件(300)；将安装于基座部件(300)的压电振动元件(100)在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；通过利用离子束实施的蚀刻进行压电振动元件(100)的频率调整；以及经由接合材料(350)将罩部件(200)与基座部件(300)接合以密封封闭压电振动元件(100)。

公开(公告)号：CN107710602B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201680034000.0

申请日：2016-06-13

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 高桥星太 ,  开田弘明 ,  牧野贤誉 ,  新家博之

IPC: H03H3/04 ,  H03H3/02

Abstract: 压电振子(1)的制造方法包括：经由导电性粘合剂(340、342)将压电振动元件(100)安装于基座部件(300)；将安装于基座部件(300)的压电振动元件(100)在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；通过利用离子束实施的蚀刻进行压电振动元件(100)的频率调整；以及经由接合材料(350)将罩部件(200)与基座部件(300)接合以密封封闭压电振动元件(100)。