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公开(公告)号：CN107654358B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201710883675.9
申请日：2013-02-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B45/047 , F04B39/10
Abstract: 本发明提供一种阀及流体控制装置。阀(101)具有下阀壳体(192)、隔膜(120)和上阀壳体(191)。在下阀壳体(192)的底面粘接有压电泵(10)的上表面。在隔膜(120)的与下阀壳体(192)的突出部(138)相对的区域的中心部设有圆形的孔部(121)。隔膜(120)粘接在上阀壳体(191)及下阀壳体(192)上，并对阀壳体(130)内进行分割，从而构成第1下阀室(131)、第2下阀室(132)、第1上阀室(133)和第2上阀室(134)。在第1上阀室(133)中与隔膜(120)相对的上阀壳体(191)的壁部(190)内设有槽(140)。
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公开(公告)号：CN102979706B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201210326158.9
申请日：2012-09-05
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
CPC classification number: F04B43/043 , F04B45/047
Abstract: 一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体及可挠板。所述振动板单元具有振动板和框板，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围。所述驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动。在所述可挠板上设有孔。此外，所述可挠板与所述振动板的所述第二主面相对，并通过含有多个微粒的粘接剂夹着多个所述微粒而被粘接在所述框板上。
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公开(公告)号：CN104246228A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020898.2
申请日：2013-02-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: F16K7/17 , A61B5/022 , F04B43/043 , F04B53/106 , F16K11/022 , F16K11/105 , F16K11/22 , F16K15/144 , F16K31/1266 , F16K31/128
Abstract: 本发明提供一种阀及流体控制装置。阀(101)具有下阀壳体(192)、隔膜(120)和上阀壳体(191)。在下阀壳体(192)的底面粘接有压电泵(10)的上表面。在隔膜(120)的与下阀壳体(192)的突出部(138)相对的区域的中心部设有圆形的孔部(121)。隔膜(120)粘接在上阀壳体(191)及下阀壳体(192)上，并对阀壳体(130)内进行分割，从而构成第1下阀室(131)、第2下阀室(132)、第1上阀室(133)和第2上阀室(134)。在第1上阀室(133)中与隔膜(120)相对的上阀壳体(191)的壁部(190)内设有槽(140)。
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公开(公告)号：CN101296838B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200680040346.8
申请日：2006-10-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 平田笃彦
Abstract: 本发明提供一种防翻倒控制装置，该防翻倒控制装置具有：左右自由倾斜的自行车机器人(A)；将检测轴向着实质上前后方向安装在自行车机器人(A)上的角速度传感器(7)；将旋转轴向着实质上前后方向安装在本体上的电动机(9)；检测电动机(9)的旋转位置或旋转速度的旋转传感器(10)；以及与电动机(9)的转轴连接的惯性转子(8)，用电动机(9)使惯性转子(8)旋转，利用随着惯性转子(8)的旋转而产生的反作用转矩，来校正自行车机器人(A)的倾斜。具有：根据角速度传感器(7)的角速度输出ω1和给予电动机(9)的转矩指令τ0来对相对于平衡状态的倾斜角进行推定的倾斜角推定单元，并使用倾斜角推定值，来校正自行车机器人(A)的倾斜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101542122B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200780044264.5
申请日：2007-12-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B45/047 , F04B45/04
CPC classification number: F04B45/04 , F04B43/046 , F04B45/047 , F04B53/1077
Abstract: 压电微型鼓风机，在鼓风机本体(1)上设置第1壁部(1a)和第2壁部(1b)。在与隔膜(50)的中心部相对的壁部的位置形成开口部(5a)、(5b)。在2壁部之间形成将外部与开口部(5a)、(5b)连通的流入通道(7)。向压电元件(3)施加电压使隔膜(50)产生振动后，开口部(5a)周边的第1壁部(1a)振动，从流入通道(7)吸入气体，从开口部(5b)排出气体。可不使用逆止阀、能够高效率地输送压缩性流体、并能够确保流量。
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公开(公告)号：CN101427026A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780014133.2
申请日：2007-02-09
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: F04B43/046
Abstract: 本发明提供一种压电微型泵，该压电微型泵即使在其隔膜由柔软的材料形成的情况下，也可以有效地将压电元件的位移传递作为泵室的容积变化，而且该压电微型泵的流体输送能力优异。在该压电微型泵中，用隔膜(3)隔离泵室(6)，在隔膜(3)的背面配置压电元件(2)，利用压电元件(2)的弯曲变形使隔膜(3)随之变形，从而使泵室(6)的容积变化，并输送泵室(6)内的流体。设置支撑压电元件(2)的背面的支撑构件(1a1)，支撑构件(1a1)限制隔膜(3)的周边部分的反向弯曲，从而防止压电元件(2)为浮起的状态。其结果是能够确实地将压电元件(2)的位移传递作为泵室(6)的容积变化，来提高流体的输送能力。
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公开(公告)号：CN101288152A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200680038066.3
申请日：2006-09-04
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 平田笃彦
IPC: H01L21/02 , H01L21/603 , H05K3/36
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/67121 , H01L21/67144 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/75 , H01L2224/75301 , H01L2224/75981 , H01L2224/81203 , H01L2224/81801 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01033 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/014
Abstract: 一种接合装置，不受热量影响，能维持作为接合对象的晶片的平行度，能提高和稳定两者的接合精度。第一块体部件(12)与第一加压轴(22)之间存在第一空间部(M1)，第二块体部件(28)与第二加压轴(42)之间存在第二空间部(M2)，因此几乎没有热量从第一块体部件(12)和第二块体部件(28)传递到第一加压轴(22)和第二加压轴(42)，能使第一块体部件(12)内部和第二块体部件(28)内部成为大致均匀的温度。第一支柱部件(20)和第二支柱部件(40)挠曲来吸收第一块体部件(12)和第二块体部件(28)的热膨胀与第一加压轴(22)和第二加压轴(42)的热膨胀的差异所产生的应力，能维持第一块体部件(12)的第一晶片(W1)把持面和第二块体部件(28)的第二晶片(W2)把持面的平面度。
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公开(公告)号：CN107921205B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201680049337.9
申请日：2016-08-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(1)具备：管插入部(24)，其设置于壳体(2)；固定部件(13)，其将插入于管插入部(24)的管固定于管插入部(24)；按压部件(16)，其由促动器(15)驱动，在所述管插入部(24)的内部按压所述管；以及控制部(26)，其控制所述按压部件(16)的促动器(15)，在所述固定部件(13)将所述管固定于所述管插入部(24)之后，所述控制部(26)使所述按压部件(16)开始按压所述管。
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