公开(公告)号：CN105452853B

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201480044709.X

申请日：2014-08-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  白木宏 ,  山本启辅

IPC: G01N27/02 ,  G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223 ,  G01K7/16 ,  G01K7/203

Abstract: 本发明的温湿度传感器(1)具备：基板(2)；设置在基板(2)的第1电极(4)；至少一部分沿着第1电极(4)而设的线状的第2电极(6)；和设置在第2电极(6)中的沿着第1电极(4)的部分与第1电极(4)间的湿敏膜(8)。第2电极(6)为了形成电感器而具有俯视观察下为螺旋状的形状的部分。由此能构成高精度的振荡电路，能提供小型、制造容易的温度/湿度传感器。

公开(公告)号：CN105452853A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480044709.X

申请日：2014-08-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  白木宏 ,  山本启辅

IPC: G01N27/02 ,  G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223 ,  G01K7/16 ,  G01K7/203

Abstract: 本发明的温湿度传感器(1)具备：基板(2)；设置在基板(2)的第1电极(4)；至少一部分沿着第1电极(4)而设的线状的第2电极(6)；和设置在第2电极(6)中的沿着第1电极(4)的部分与第1电极(4)间的湿敏膜(8)。第2电极(6)为了形成电感器而具有俯视观察下为螺旋状的形状的部分。由此能构成高精度的振荡电路，能提供小型、制造容易的温度/湿度传感器。