公开(公告)号：CN1162837A

公开(公告)日：1997-10-22

申请号：CN97102082.5

申请日：1997-01-20

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中西秀文 ,  桜井敦 ,  小林真人 ,  吉野幸夫

IPC: H01L21/00

Abstract: 通过采用双离子溅射装置在由非晶材料组成的玻璃衬底上形成铝薄膜。与此同时采用离子束照射方法辅助薄膜形成于玻璃衬底上，通过将离子束照射到铝靶上形成铝薄膜。

公开(公告)号：CN1317875A

公开(公告)日：2001-10-17

申请号：CN01104546.9

申请日：1997-01-20

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中西秀文 ,  桜井敦 ,  小林真人 ,  吉野幸夫

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08

CPC classification number: C30B23/02 ,  C30B29/02

Abstract: 本发明提供一种用于表面声波器件的薄膜电极及其制造方法。薄膜电极包括：在压电衬底上形成的非晶层；以及在所述非晶层上形成的单晶层和取向层中至少一种。薄膜电极的方法包括以下步骤：在压电衬底表面形成非晶层，与此同时用辅助离子束照射压电衬底表面；以及用辅助离子束照射非晶层表面以在所述非晶层表面形成单晶层和取向层中至少一种。

公开(公告)号：CN1431777A

公开(公告)日：2003-07-23

申请号：CN03101033.4

申请日：2003-01-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中村大佐 ,  上坂健一 ,  吉野幸夫 ,  竹内雅树 ,  后藤义彦 ,  野村忠志

IPC: H03H9/54

CPC classification number: H03H9/564 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H9/568

Abstract: 一种包括衬底和振子的压电谐振器。振子包含薄膜部分，其包含至少一个设置在衬底上的压电薄膜层；和设置在衬底上的至少一对上电极和下电极。振子有这样的结构，其中薄膜部分通过在振子的深度方向上彼此相对的上电极和下电极，夹在振子的上表面和下表面之间；和由相对的上电极和下电极确定的振子重叠部分，从衬底的深度方向观看，具有区别于长方形和正方形的四边形形状，四边形形状具有基本平行的边，其纵向长度大体上等于或小于约10倍振荡波长，并且有至少一部分，其中相对的电极边缘之间的距离是变化的。

公开(公告)号：CN1248414C

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN03101033.4

申请日：2003-01-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中村大佐 ,  上坂健一 ,  吉野幸夫 ,  竹内雅树 ,  后藤义彦 ,  野村忠志

IPC: H03H9/54

CPC classification number: H03H9/564 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H9/568

Abstract: 一种包括衬底和振子的压电谐振器。振子包含薄膜部分，其包含至少一个设置在衬底上的压电薄膜层；和设置在衬底上的至少一对上电极和下电极。振子有这样的结构，其中薄膜部分通过在振子的深度方向上彼此相对的上电极和下电极，夹在振子的上表面和下表面之间；和由相对的上电极和下电极确定的振子重叠部分，从衬底的深度方向观看，具有区别于长方形和正方形的四边形形状，四边形形状具有基本平行的边，其纵向长度大体上等于或小于约10倍振荡波长，并且有至少一部分，其中相对的电极边缘之间的距离是变化的。