公开(公告)号：CN108885223A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780019782.5

申请日：2017-01-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 衣川耕平 ,  神原克宏 ,  山形俊树

IPC: G01N35/04 ,  G01N35/02

CPC classification number: G01N35/02 ,  G01N35/04

Abstract: 具备调整一个个地保持检测体容器(1)的检测体容器支架(10)的朝向的支架朝向调整机构(40a、40b)，支架朝向调整机构(40a、40b)具备：配置于搬送检测体容器支架(10)的搬送线路(202a、202b)上且在与设于检测体容器支架(10)的基部(12)的侧方一方的切口部(12a)相同的高度与基部(12)的周向上的切口部(12a)以外的外周部接触，从而限制检测体容器支架(10)向下游侧移动的限制机构(41)；以及限制检测体容器支架(10)向远离限制机构(41)的方向的移动，并且使检测体容器支架(10)沿周向旋转的支架旋转机构(42)。由此，能够适当调整容纳检测体的检测体容器的朝向，能够抑制作业的复杂。

公开(公告)号：CN102565092A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110243261.2

申请日：2011-08-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 荒木正树 ,  广井修一 ,  衣川耕平

IPC: G01N21/958

Abstract: 本发明提供能够确保玻璃基板在搬运方向的平坦性、高精度地进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者玻璃基板缺陷检查方法。本发明的特征在于：在通过空气产生悬浮力使玻璃基板悬浮，将玻璃基板向不存在所述悬浮力的检查区域搬运，在所述检查区域内对所述玻璃基板进行摄像并进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者检查方法中，降低所述检查区域内的所述玻璃基板搬运方向的端部的跳起导致的位移量，进行所述检查。另外，本发明的特征还在于如下进行所述降低：测定所述检查区域内的所述玻璃基板的所述位移量，并基于所述位移量测定结果，使进行所述摄像的摄像单元移动。

公开(公告)号：CN104022057A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201410060917.0

申请日：2014-02-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 园边和幸 ,  衣川耕平 ,  山崎不二夫 ,  荒木正树 ,  三浦纮一郎 ,  畠山理子

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67121 ,  H01L21/687

Abstract: 根据本发明，即使显示基板具有变形、翘曲，也能够稳定地进行显示基板与盖基板的贴合。本发明的基板贴合装置（1）是将显示基板（101）和盖基板（121）介由接合部件（110）在真空条件下进行贴合的装置，具备载置部件（201）和贴合部（8）。载置部件（201）载置作为贴合的一个基板的显示基板（101）。并且，载置部件（201）具备板状的主体（202）和保持部件（203a）～（203d）。保持部件（203a）～（203d）与显示基板（101）的侧面部抵接，限制显示基板（101）在与载置部件（201）的面平行的面内移动。贴合部（8）将载置部件（201）所载置的显示基板（101）和作为被贴合的另一个基板的盖基板（121）介由接合材料（110）在真空条件下进行贴合。