公开(公告)号：CN102668014A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080053246.5

申请日：2010-11-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 千野肇 ,  绵引胜 ,  岩谷彻

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/24

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明的带电粒子显微镜系统的特征在于，将带电粒子显微镜的操作项目限定于显示在GUI画面(2)上的控制按钮中的项目。若用户在带电粒子显微镜的GUI画面(2)上仅操作了一次与希望的观察条件相对应的控制按钮(41、42、43)，则能够根据所述观察条件，设定保存在表中的电子光学条件，并进行测定。由此，能够提供直观且容易操作的带电粒子显微镜用的图形用户界面环境。

公开(公告)号：CN102668014B

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201080053246.5

申请日：2010-11-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 千野肇 ,  绵引胜 ,  岩谷彻

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/24

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明的带电粒子显微镜系统的特征在于，将带电粒子显微镜的操作项目限定于显示在GUI画面(2)上的控制按钮中的项目。若用户在带电粒子显微镜的GUI画面(2)上仅操作了一次与希望的观察条件相对应的控制按钮(41、42、43)，则能够根据所述观察条件，设定保存在表中的电子光学条件，并进行测定。由此，能够提供直观且容易操作的带电粒子显微镜用的图形用户界面环境。