公开(公告)号：CN107407595B

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201680018266.6

申请日：2016-03-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 笠井优 ,  大西富士夫 ,  田崎修 ,  田上英嗣 ,  田中一启

IPC: G01J1/42 ,  G01N23/2251 ,  G01N33/53

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J1/42 ,  G01N21/66 ,  G01N21/956 ,  G01N23/203 ,  G01N23/22 ,  G01N23/225 ,  G01T1/1647 ,  G01T1/20

Abstract: 一种光量检测装置，对由光电倍增管(2)检测、由前置放大器(5)放大、且转换成数字信号的检测信号进行基准补偿处理即将低于预定的基准阈值的信号成分的时间平均值计算为基准电压，并补偿检测信号以使基准电压成为0，对已进行基准补偿处理的信号进行阈值处理即计算高于预定的信号检测阈值的信号成分、和光未入射至光电倍增管(2)的状态下的基准补偿处理，对其输出信号进行暗电流计算处理即计算高于预定的信号检测阈值的信号成分，并使由阈值处理得到的检测光的信号成分减去由暗电流计算处理得到的暗电流的信号成分的时间平均值来计算发光信号量。由此，通过辨别暗电流脉冲和本底噪声，可以提高基准电压的精度，可以提高光的检测精度。

公开(公告)号：CN107407595A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680018266.6

申请日：2016-03-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 笠井优 ,  大西富士夫 ,  田崎修 ,  田上英嗣 ,  田中一启

IPC: G01J1/42 ,  G01N21/66 ,  G01N23/203 ,  G01N23/22 ,  G01N23/225

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J1/42 ,  G01N21/66 ,  G01N21/956 ,  G01N23/203 ,  G01N23/22 ,  G01N23/225 ,  G01T1/1647 ,  G01T1/20

Abstract: 一种光量检测装置，对由光电倍增管(2)检测、由前置放大器(5)放大、且转换成数字信号的检测信号进行基准补偿处理即将低于预定的基准阈值的信号成分的时间平均值计算为基准电压，并补偿检测信号以使基准电压成为0，对已进行基准补偿处理的信号进行阈值处理即计算高于预定的信号检测阈值的信号成分、和光未入射至光电倍增管(2)的状态下的基准补偿处理，对其输出信号进行暗电流计算处理即计算高于预定的信号检测阈值的信号成分，并使由阈值处理得到的检测光的信号成分减去由暗电流计算处理得到的暗电流的信号成分的时间平均值来计算发光信号量。由此，通过辨别暗电流脉冲和本底噪声，可以提高基准电压的精度，可以提高光的检测精度。