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公开(公告)号：CN102668013A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080052970.6
申请日：2010-11-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。
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公开(公告)号：CN105474348B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201480045594.6
申请日：2014-09-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , F25B19/005 , F25B45/00 , H01J2237/002 , H01J2237/022 , H01J2237/028 , H01J2237/182 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002
Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。
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公开(公告)号：CN108885962B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680066784.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105474348A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480045594.6
申请日：2014-09-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , F25B19/005 , F25B45/00 , H01J2237/002 , H01J2237/022 , H01J2237/028 , H01J2237/182 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002
Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。
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公开(公告)号：CN108885962A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680066784.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。
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公开(公告)号：CN103348439B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201180067087.9
申请日：2011-11-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2001 , H01J2237/2003
Abstract: 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。
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公开(公告)号：CN102668013B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080052970.6
申请日：2010-11-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。
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公开(公告)号：CN103348439A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201180067087.9
申请日：2011-11-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2001 , H01J2237/2003
Abstract: 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。
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