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公开(公告)号：CN101988181B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201010242038.1
申请日：2010-07-29
CPC classification number: C23F1/02 , C23C14/042 , C23C14/12 , G03F7/0015 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及金属加工方法、金属掩模制造方法以及有机EL显示装置制造方法。其中，在金属板(210)的两面涂布光抗蚀液，形成光抗蚀膜(220、230)(S102)，接着，进行光抗蚀膜的曝光及显像，以残留开孔的部分的光抗蚀膜的方式去除其它的光抗蚀膜(S103)。接着，在形成光抗蚀膜的金属板的两面形成金属薄膜(240、250)(S104)。然后，在去除光抗蚀膜的同时，去除在光抗蚀膜之上形成的金属薄膜(245、255)(S105)。最后，将该金属板浸入蚀刻液，进行蚀刻，在金属板上形成高精度的孔(S106)。
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公开(公告)号：CN102104056B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201010578231.2
申请日：2007-02-09
Applicant: 株式会社日立显示器 , 松下液晶显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3211 , H01L27/3223 , H01L27/3279 , H01L51/5221
Abstract: 本发明提供一种可提高蒸镀精度、设计自由度的有机EL显示装置。该有机EL显示装置，矩阵状地配置有多个有机EL元件，该有机EL元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层，在行方向相邻的上述有机EL元件，其发光的颜色彼此不同，上述有机层的至少一层，在其列方向的端部，具有其蒸镀的行方向的宽度向最端部逐渐缩小的圆锥曲线的外缘。
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公开(公告)号：CN101409304B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200810168595.6
申请日：2008-10-10
Applicant: 株式会社日立显示器 , 松下液晶显示器株式会社
IPC: H01L27/32 , H01L23/522
CPC classification number: H01L27/3276 , H01L2251/5315
Abstract: 本发明提供一种有机EL显示装置。由上部电极和下部电极夹持的像素呈矩阵状而形成，由此形成显示区域。在像素和像素之间，为了防止上部电极的电压下降，在横向延伸有辅助电极(30)。在绝缘膜上形成通孔，使得向上部电极(23)供给电流用的电流供给线和辅助电极导通。为了确保通孔的连接可靠性，在通孔上蒸镀与辅助电极(30)重叠的由金属形成的接触电极(40)。由此，实现能够防止由透明导电膜形成的上部电极的电压下降、且画面亮度均匀的顶部发光型有机EL显示装置。
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公开(公告)号：CN101030595B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710005531.X
申请日：2007-02-09
Applicant: 株式会社日立显示器
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3211 , H01L27/3223 , H01L27/3279 , H01L51/5221
Abstract: 本发明提供一种可提高蒸镀精度、设计自由度的有机EL显示装置。该有机EL显示装置，矩阵状地配置有多个有机EL元件，该有机EL元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层，在行方向相邻的上述有机EL元件，其发光的颜色彼此不同，上述有机层的至少一层，在其列方向的端部，具有其蒸镀的行方向的宽度向最端部逐渐缩小的圆锥曲线的外缘。
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公开(公告)号：CN101638769B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200910165014.8
申请日：2009-07-28
CPC classification number: C23C14/042 , C03C17/001 , C03C2218/15 , C23C14/12 , Y10T156/10
Abstract: 提供一种成膜装置和使用该成膜装置的成膜方法，它们能够形成具有良好尺寸精度以及具有基板与掩模之间在将基板压向掩模时于平面方向上的减小的不对准的像素图案。该成膜装置包括使基板和掩模相互对准的对准机构以及用设置于挤压体的一端的接触部件将基板压向掩模的挤压机构，其中该挤压体被设置于真空室中。在通过对准机构使基板与掩模之间对准之后，使挤压体的接触部件和在与掩模相对的一侧上的基板的表面达到接触以压基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101320310B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200810098647.7
申请日：2008-06-05
Applicant: 株式会社日立显示器
CPC classification number: G06F3/0412
Abstract: 本发明提供一种带触摸面板的显示装置，其采用新的检测结构。该显示装置包括触摸面板和配置在触摸面板的内表面上的显示面板，上述一方的基板具有形成在树脂上的金属布线，其中上述触摸面板包括在相对面上具有电极的一对基板和用于保持该一对基板之间的间隙的间隔物。
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公开(公告)号：CN102104056A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010578231.2
申请日：2007-02-09
Applicant: 株式会社日立显示器
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3211 , H01L27/3223 , H01L27/3279 , H01L51/5221
Abstract: 本发明提供一种可提高蒸镀精度、设计自由度的有机EL显示装置。该有机EL显示装置，矩阵状地配置有多个有机EL元件，该有机EL元件具有阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机层，在行方向相邻的上述有机EL元件，其发光的颜色彼此不同，上述有机层的至少一层，在其列方向的端部，具有其蒸镀的行方向的宽度向最端部逐渐缩小的圆锥曲线的外缘。
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公开(公告)号：CN101988181A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN201010242038.1
申请日：2010-07-29
CPC classification number: C23F1/02 , C23C14/042 , C23C14/12 , G03F7/0015 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及金属加工方法、金属掩模制造方法以及有机EL显示装置制造方法。其中，在金属板(210)的两面涂布光抗蚀液，形成光抗蚀膜(220、230)(S102)，接着，进行光抗蚀膜的曝光及显像，以残留开孔的部分的光抗蚀膜的方式去除其它的光抗蚀膜(S103)。接着，在形成光抗蚀膜的金属板的两面形成金属薄膜(240、250)(S104)。然后，在去除光抗蚀膜的同时，去除在光抗蚀膜之上形成的金属薄膜(245、255)(S105)。最后，将该金属板浸入蚀刻液，进行蚀刻，在金属板上形成高精度的孔(S106)。
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公开(公告)号：CN101055888A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200710090461.2
申请日：2007-04-11
Applicant: 株式会社日立显示器
CPC classification number: G09G3/3225 , G09G2300/0443 , G09G2300/0452 , G09G2330/08 , G09G2330/10
Abstract: 一种有机EL显示装置，最小限度地增加薄膜晶体管来减少像素缺陷。具有对每个设置在由信号线(DTL)和扫描线(RSL)包围的像素区域的像素电路供给电流的多条电源线(PWL)和按每个像素电路并联连接的多个分割有机EL元件(OLED1)至(OLED4)，包括：第1薄膜晶体管(TFT1)，栅极电极连接在信号线上，源极电极并联连接在多个分割有机EL元件的阳极电极上，漏极连接在电源线上，用从信号线读取到的信号来控制在发光期间供给多个分割有机EL元件的总电流量；多个第2薄膜晶体管(TFT21)至(TFT24)，分别设置在第1薄膜晶体管与各分割有机EL元件之间，控制从第1薄膜晶体管供给各分割有机EL元件的电流。
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公开(公告)号：CN102403465A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110274804.7
申请日：2011-09-09
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0018 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种有机电致发光用掩模，在具有条状图案的开孔部的掩模中，谋求掩模强度的提高，而且，能够使掩模伸展后的节距精度高精度化。在具有条状图案的开孔部的有机电致发光用掩中，相对于该开孔部的宽度W，距该开孔部的端部的距离L满足下式：1/2W≤L≤20W，在距开孔部的端部距离L的区域中，该开孔部的截面形状与除此以外的区域的开孔部的截面形状相比，开孔部的截面积减小。
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