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发明公开
形状测量系统以及形状测量方法审中-实审

公开(公告)号：CN115435706A

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202210487470.X

申请日：2022-05-06

Applicant: 株式会社日立大厦系统

Inventor： 内山允史 , 中村俊辉 , 大西义人

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供即使在产生振动等的情况下也能够进行高精度的形状测量的形状测量系统。形状测量系统(1)具备向预定的方向射出光束(200)的基准光源部(2)、通过移动机构(5)一体地沿光束光轴(210)移动的距离测量部(3)以及位置检测部(4)。距离测量部(3)对在与光束光轴(210)垂直的面(8)内的到测量对象的距离进行测量。位置检测部(4)具备：检测光学系统(42)，其供基准光源部(2)的光束(200)射入；以及位置检测传感器(41)，其配置于比检测光学系统(42)的焦点面离检测光学系统(42)更近的位置，经由检测光学系统(42)接受基准光源部(2)的光束(200)，并输出受光位置作为相对位置信息。

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