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公开(公告)号：CN103155597B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201180048454.0
申请日：2011-10-13
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: H02N1/08 , A61B8/4483 , A61B8/4494 , B06B1/0292 , G01N29/2406 , H04R19/04
Abstract: 提供一种电容检测型超声波转换器(C M U T)，其实现高发送声压和高接收灵敏度，且使长期驱动下的可靠性提高。其具备：下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部电极(205)、形成在所述空洞部(202)内的多个绝缘膜的突起(204)，其中，具备在所述空洞部上形成的多个刚性部件(203)，所述下部电极(201)和所述上部电极(205)之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起(204)重合的部分进行挖空，从而配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起(204)重合的位置上，各个所述刚性部件(203)被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起(204)重合的区域。
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公开(公告)号：CN102281818A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201080004562.3
申请日：2010-01-06
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供一种超声波探头的制造方法及超声波探头。在形成作为保护膜的聚酰亚胺膜之前，使薄膜反复振动，从而评价上部电极与下部电极之间的绝缘耐压，预先除去因薄膜的反复振动而在上部电极与下部电极之间产生了绝缘耐压降低的不良半导体装置(CMUT)单元的上部电极，切断与其他正常半导体装置单元的电连接，由此在包含修复后的CMUT单元(RC)在内的块(RB)或沟道(RCH)中，防止薄膜的反复振动后的上部电极与下部电极之间的绝缘耐压降低。由此，可以提高半导体装置的制造成品率。
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公开(公告)号：CN102281818B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201080004562.3
申请日：2010-01-06
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供一种超声波探头的制造方法及超声波探头。在形成作为保护膜的聚酰亚胺膜之前，使薄膜反复振动，从而评价上部电极与下部电极之间的绝缘耐压，预先除去因薄膜的反复振动而在上部电极与下部电极之间产生了绝缘耐压降低的不良半导体装置(CMUT)单元的上部电极，切断与其他正常半导体装置单元的电连接，由此在包含修复后的CMUT单元(RC)在内的块(RB)或沟道(RCH)中，防止薄膜的反复振动后的上部电极与下部电极之间的绝缘耐压降低。由此，可以提高半导体装置的制造成品率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103155597A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180048454.0
申请日：2011-10-13
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: H02N1/08 , A61B8/4483 , A61B8/4494 , B06B1/0292 , G01N29/2406 , H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种电容检测型超声波转换器(C M U T)，其实现高发送声压和高接收灵敏度，且使长期驱动下的可靠性提高。其具备：下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部电极(205)、形成在所述空洞部(202)内的多个绝缘膜的突起(204)，其中，具备在所述空洞部上形成的多个刚性部件(203)，所述下部电极(201)和所述上部电极(205)之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起(204)重合的部分进行挖空，从而配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起(204)重合的位置上，各个所述刚性部件(203)被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起(204)重合的区域。
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公开(公告)号：CN102577436B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201080033159.3
申请日：2010-08-11
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供一种超声波探头及超声波摄像装置，可降低因在静电电容式微型超声波换能器的微囊形状具有各向异性时产生的高次振动模式引起的不必要的响应。在将构成静电电容式微型超声波换能器的振动膜的长的方向(l)和短的方向(w)之比设为代表纵横比(l/w)的情况下，将代表纵横比设定成使在探头的收发频带宽度内不形成6dB以上的下降(dip)的值。或者，将代表纵横比的值设定成使存在奇数个腹部数的振动模式的频率除以基本模式频率后而得到的值为2以下的振动模式的数目有6个以上的值。
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公开(公告)号：CN102440005B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201080022255.8
申请日：2010-05-21
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292 , A61B8/00 , A61B8/4483 , B81B3/0021 , B81B2201/0257 , G01N29/2406 , H04R19/005
Abstract: 本发明提供一种具备优选的突起配置结构的超声波换能器及利用该超声波换能器的超声波诊断装置。该超声波换能器具备：第一电极；形成于该第一电极上的下部绝缘膜；被设置为在该下部绝缘膜上形成空洞部的上部绝缘膜；和形成于该上部绝缘膜上的第二电极，其特征在于，在所述下部绝缘膜或所述上部绝缘膜上，在所述空洞部侧形成突起，在相当于形成所述突起的位置的所述第一电极或第二电极上形成有开口部。由此，在为了抑制薄膜下表面与空洞部下表面接触所引起的电荷向绝缘膜注入而配置向空洞部突出的绝缘膜的突起的情况下，可以抑制CMUT的驱动电压的上升、接收灵敏度的降低。
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公开(公告)号：CN102577436A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080033159.3
申请日：2010-08-11
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供一种超声波探头及超声波摄像装置，可降低因在静电电容式微型超声波换能器的微囊形状具有各向异性时产生的高次振动模式引起的不必要的响应。在将构成静电电容式微型超声波换能器的振动膜的长的方向(l)和短的方向(w)之比设为代表纵横比(l/w)的情况下，将代表纵横比设定成使在探头的收发频带宽度内不形成6dB以上的下降(dip)的值。或者，将代表纵横比的值设定成使存在奇数个腹部数的振动模式的频率除以基本模式频率后而得到的值为2以下的振动模式的数目有6个以上的值。
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公开(公告)号：CN102440005A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080022255.8
申请日：2010-05-21
Applicant: 株式会社日立医疗器械
CPC classification number: B06B1/0292 , A61B8/00 , A61B8/4483 , B81B3/0021 , B81B2201/0257 , G01N29/2406 , H04R19/005
Abstract: 本发明提供一种具备优选的突起配置结构的超声波换能器及利用该超声波换能器的超声波诊断装置。该超声波换能器具备：第一电极；形成于该第一电极上的下部绝缘膜；被设置为在该下部绝缘膜上形成空洞部的上部绝缘膜；和形成于该上部绝缘膜上的第二电极，其特征在于，在所述下部绝缘膜或所述上部绝缘膜上，在所述空洞部侧形成突起，在相当于形成所述突起的位置的所述第一电极或第二电极上形成有开口部。由此，在为了抑制薄膜下表面与空洞部下表面接触所引起的电荷向绝缘膜注入而配置向空洞部突出的绝缘膜的突起的情况下，可以抑制CMUT的驱动电压的上升、接收灵敏度的降低。
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