公开(公告)号：CN110871157A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201910223100.3

申请日：2019-03-22

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 长谷川浩章 ,  今川健吾 ,  町田俊太郎 ,  竹崎泰一

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明提供一种超声波换能器阵列以及超声波探测器，提高具备多个具有作为在上部电极以及下部电极之间具有间隙的CMUT的单元的电容器的超声波换能器阵列的性能。将电连接于作为搭载于芯片的CMUT的单元的电容器(C2)、根据多个排列的波道数量将作为保护增幅电路的(DC)部件用电容器使用的电容器(C1)形成于该芯片内。电容器(C1)是不会音频性地振动的静电容量元件。

公开(公告)号：CN108886660B

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN201780021776.3

申请日：2017-07-07

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 长谷川浩章 ,  町田俊太郎 ,  竹崎泰一 ,  龙崎大介

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/14 ,  H04R31/00

Abstract: 超声波换能器具有空洞部(110)和隔膜(120)，空洞部(110)形成于被基板(101)上的下部电极(103)和上部电极(107)夹着的绝缘膜(104)、(106)之间，隔膜(120)由空洞部(110)的上方的绝缘膜(106、108、111、112)及上部电极(107)构成，并且在发送/接收超声波时振动。另外，空洞部(110)在将中心部的厚度设为h1且将外周部的厚度设为h2时，具有满足h1＞h2＞0的关系的截面形状。

公开(公告)号：CN108886660A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021776.3

申请日：2017-07-07

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 长谷川浩章 ,  町田俊太郎 ,  竹崎泰一 ,  龙崎大介

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/14 ,  H04R31/00

Abstract: 超声波换能器具有空洞部(110)和隔膜(120)，空洞部(110)形成于被基板(101)上的下部电极(103)和上部电极(107)夹着的绝缘膜(104)、(106)之间，隔膜(120)由空洞部(110)的上方的绝缘膜(106、108、111、112)及上部电极(107)构成，并且在发送/接收超声波时振动。另外，空洞部(110)在将中心部的厚度设为h1且将外周部的厚度设为h2时，具有满足h1＞h2＞0的关系的截面形状。