公开(公告)号：CN104949985A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510056790.X

申请日：2015-02-03

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 小西孝明 ,  松井哲也 ,  永岛良昭 ,  中野博之 ,  沟田裕久

IPC: G01N21/88

CPC classification number: G01M11/081 ,  G01M5/0033 ,  G01M5/0058 ,  G01M5/0091 ,  G03B37/005

Abstract: 本发明提供一种构造物的表面检查装置以及表面检查方法，能够更高速地进行构造物的表面检查，能够实现检查效率的提高。该构造物的表面检查装置具备：压力变化发生装置(5)，其在沿作为检查对象的构造物(1)的表面的方向移动，使构造物(1)的表面发生压力变化，该作为检查对象的构造物(1)在表面设有根据应力发光的应力发光构造部(2)；拍摄装置(6)，其与压力变化发生装置(5)一体移动，对构造物(1)的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄；以及缺陷检测部(7)，其基于通过拍摄装置(6)得到的构造物(1)的图像，检测构造物(1)的表面的缺陷。