公开(公告)号：CN1203443A

公开(公告)日：1998-12-30

申请号：CN98114940.5

申请日：1998-06-19

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 石村裕昭 ,  椿武士 ,  佐藤孝 ,  中田健二 ,  平野裕义 ,  吉开元彦 ,  坂口正道

IPC: H01L21/3065 ,  C23C14/00 ,  C23C16/00

CPC classification number: H01J37/32431 ,  H01J2237/022 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明涉及样品取走方法和装置,其中从样品台取走通过给安装在真空室中的样品台施加静电吸附电压而被静电吸附的样品。第一步骤,相对样品台向上推顶针到预定高度以从样品台取走样品,第二步骤,是在第一步骤结束之后使顶针在预定时间内静止不动。通过重复第一和第二步骤,从样品台取走样品。