-
公开(公告)号:CN1216862A
公开(公告)日:1999-05-19
申请号:CN98123833.5
申请日:1998-11-04
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: H01L27/105 , H01L27/108 , H01L21/8242 , G11C11/34
CPC classification number: H01L27/10808 , H01L27/10873
Abstract: 在如DRAM的半导体存储器件中,在隔离绝缘膜1.2的边缘部分上分布有导电薄膜1.11’,所述隔离绝缘膜与半导体衬底1.1相对,中间是薄的绝缘膜。该导电薄膜1.11’电连于存储电容器的下电极1.11。该新颖结构可以独立于冶金pn结的位置来控制电学性pn结的位置。从而实现了数据保留时间长、有效抑制漏泄电流的半导体存储器件。
-
公开(公告)号:CN1137518C
公开(公告)日:2004-02-04
申请号:CN98123833.5
申请日:1998-11-04
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: H01L27/105 , H01L27/108 , H01L21/8242 , G11C11/34
CPC classification number: H01L27/10808 , H01L27/10873
Abstract: 在如DRAM的半导体存储器件中,在隔离绝缘膜1.2的边缘部分上分布有导电薄膜1.11’,所述隔离绝缘膜与半导体衬底1.1相对,中间是薄的绝缘膜。该导电薄膜1.11’电连于存储电容器的下电极1.11。该新颖结构可以独立于冶金pn结的位置来控制电学性pn结的位置。从而实现了数据保留时间长、有效抑制漏泄电流的半导体存储器件。
-