公开(公告)号：CN107615132B

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201680027206.0

申请日：2016-03-24

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 中村俊辉 ,  大内敏 ,  瀬尾欣穗 ,  藤田浩司 ,  尾上慎介 ,  山田健一郎 ,  川村友人

IPC: G02B26/10 ,  G01N21/17 ,  G01S7/481 ,  G02B27/02

Abstract: 本发明目的在于提供能够进一步提高扫描性能的技术。本发明的一个方式的光扫描装置，其特征在于，包括：扫描部，其具有对入射的光进行引导以使其从射出端射出的光波导，和产生振动以使上述射出端振动的振动部；和信号传输部，其对上述扫描部传输信号，使上述扫描部扫描对象物，上述扫描部具有用弹性部件将上述振动部的上述射出端侧的端面与上述光波导粘接的第一粘接兼振动衰减部。

公开(公告)号：CN107615132A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680027206.0

申请日：2016-03-24

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 中村俊辉 ,  大内敏 ,  瀬尾欣穗 ,  藤田浩司 ,  尾上慎介 ,  山田健一郎 ,  川村友人

IPC: G02B26/10 ,  G01N21/17 ,  G01S7/481 ,  G02B27/02

Abstract: 本发明目的在于提供能够进一步提高扫描性能的技术。本发明的一个方式的光扫描装置，其特征在于，包括：扫描部，其具有对入射的光进行引导以使其从射出端射出的光波导，和产生振动以使上述射出端振动的振动部；和信号传输部，其对上述扫描部传输信号，使上述扫描部扫描对象物，上述扫描部具有用弹性部件将上述振动部的上述射出端侧的端面与上述光波导粘接的第一粘接兼振动衰减部。