公开(公告)号：CN1314189C

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN03138646.6

申请日：2003-05-29

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 金弘中 ,  牧晃司 ,  田所久男 ,  岛根秀树 ,  柴田均 ,  酒井庆次郎

IPC: H02K41/03

CPC classification number: H02K41/03 ,  H02K29/08 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明提供一种驱动装置及使用它的XY工作台，可以确保多个电枢线圈和多个磁极位置检测装置的相对位置一致的安装尺寸精度且结构紧凑。该驱动装置具有多个电枢，该电枢具有：具有上部磁极齿和下部磁极齿相对的第一对置部且具有磁性体的第一磁心，和具有上部磁极齿与下部磁极齿相对的第二对置部且具有磁性体的第二磁心，在第一对置部之间及第二对置部之间配置具有磁性体的二次侧构件，在二次侧构件的上方，在第一磁心上配置的上部磁极齿和在第二磁心上配置的上部磁极齿交替地配置，在二次侧构件的下方，在第一磁心上配置的下部磁极齿和在第二磁心上配置的下部磁极齿交替地配置，第一磁心和第二磁心上都缠绕着线圈，在多个电枢之间，在夹着二次侧构件与线圈相对的位置上配置有位置检测装置。

公开(公告)号：CN1477768A

公开(公告)日：2004-02-25

申请号：CN03138646.6

申请日：2003-05-29

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 金弘中 ,  牧晃司 ,  田所久男 ,  岛根秀树 ,  柴田均 ,  酒井庆次郎

IPC: H02K41/03

CPC classification number: H02K41/03 ,  H02K29/08 ,  H02K2201/18

Abstract: 提供一种驱动装置及使用它的XY工作台，可以确保多个电枢线圈和多个磁极位置检测装置的相对位置一致的安装尺寸精度且结构紧凑。在该驱动装置中，包括：将多个由磁性体形成的具有在磁心上缠绕的线圈的电枢并联而成的一次侧、以及备有通过和该电枢的空隙能相对移动的永磁铁的二次侧，在相邻的电枢之间备有磁极位置检测装置。