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公开(公告)号：CN1982800B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200610004932.9
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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公开(公告)号：CN1975277A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610004931.4
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100504224C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200510007967.3
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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公开(公告)号：CN1982800A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200610004932.9
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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公开(公告)号：CN1401949A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN01145616.7
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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公开(公告)号：CN1265155C
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN01145616.7
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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公开(公告)号：CN1651831A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510007967.3
申请日：2001-12-20
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F11/79 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。
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