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公开(公告)号：CN1192384A
公开(公告)日：1998-09-09
申请号：CN98104001.2
申请日：1998-01-21
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: B01D53/323 , B01D2259/812 , Y10S422/90
Abstract: 真空泵16使真空容器14内保持真空,透镜52、54将电子束64聚焦,再将电子束64照射在处理气体66中。当随着处理气体中的NOx浓度的增加而增大电子束的电流值时,根据灯丝32的电流值、电弧电源36的电流值、以及气体容器20内的气体压力增大透镜52、54的磁场强度或电场强度从而缩短焦点距离,使透镜52向引出电极44一侧移动,使透镜54向导管18一侧移动,形成恒定直径的平行电子束,并防止电子束的聚焦直径的增大。
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