Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN1178392A
公开(公告)日：1998-04-08
申请号：CN97118653.7
申请日：1997-09-18
Applicant: 株式会社日立制作所
Inventor： 菅野诚一郎 , 臼井建人 , 吉冈健 , 金井三郎 , 伊藤阳一
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明是这样一种发明:具有极性不同的一对电极,在电极间加上直流电压,把样品静电吸附保持于已设于电极上表面上的电介质膜上边的静电吸盘中,在即将停止供给已加到电极上的直流电压之前,使电介质膜的吸附部分中所积蓄的电荷量实质上相同。这样一来,就可以用不同极性的电荷的平衡使停止供给直流电压后的电介质膜的吸附部分中所积蓄的电荷消失,就可以作成剩余吸附非常之小的静电吸盘。
