Patent search ap:("株式会社日立制作所") AND inv:"中山幸德" Page 1

1.

发明公开
载体剥离装置无效

公开(公告)号：CN105382925A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510492746.3

申请日：2015-08-12

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 岸村敏治 , 石田刚 , 中山幸德

IPC: B28B13/06

CPC classification number: B28B13/06

Abstract: 本发明提供高效地从在载体的表面上形成有挠性板的复合板剥离载体的载体剥离装置。其特征在于，具备：载置由上载体(101)、板(102)及下载体(103)构成的复合板(100)的保持工作台(10)；设置于保持工作台(10)，且具有可上下移动的第一轴体部(13)及设置于第一轴体部(13)的端部的第一粘接部(14)的第一粘接升降销(12A)；设置于保持工作台(10)，且具有可上下移动的第二轴体部(13)及设置于第二轴体部(13)的端部的第二粘接部(14)的第二粘接升降销(12B)；以及具有第三粘接部(23)及橡胶吸附部(24)的弓状的剥离工作台(21)。

Patent Agency Ranking