公开(公告)号：CN112740369A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN201980061111.4

申请日：2019-08-22

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 西出基 ,  姜贵畅 ,  松本隆雄

IPC: H01L21/304

Abstract: 在基板处理装置(1)中，与沿上下方向排列的多个处理部(31)相比在上方配置有多个集合管(61a～61c)。多个集合管(61a～61c)与多个流体类别分别对应。另外，设有从多个处理部(31)趋向上方、并且供来自多个处理部(31)的排气分别流入的多个排气管(4)。在各排气管(4)的上端部设有流路切换部(5)，该流路切换部(5)将该上端部连接于多个集合管(61a～61c)，并且使在该排气管(4)内流动的排气的流路在多个集合管(61a～61c)之间进行切换。在基板处理装置(1)中，能够降低排气管(4)中的压力损耗并且减小占用面积。

公开(公告)号：CN112740369B

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN201980061111.4

申请日：2019-08-22

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 西出基 ,  姜贵畅 ,  松本隆雄

IPC: H01L21/304

Abstract: 在基板处理装置(1)中，与沿上下方向排列的多个处理部(31)相比在上方配置有多个集合管(61a～61c)。多个集合管(61a～61c)与多个流体类别分别对应。另外，设有从多个处理部(31)趋向上方、并且供来自多个处理部(31)的排气分别流入的多个排气管(4)。在各排气管(4)的上端部设有流路切换部(5)，该流路切换部(5)将该上端部连接于多个集合管(61a～61c)，并且使在该排气管(4)内流动的排气的流路在多个集合管(61a～61c)之间进行切换。在基板处理装置(1)中，能够降低排气管(4)中的压力损耗并且减小占用面积。