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发明公开
衬底处理装置、衬底处理系统、及数据处理方法审中-实审

公开(公告)号：CN117223090A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202280028516.X

申请日：2022-03-30

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 太田乔 , 猶原英司 , 池內崇 , 平冈徹也

IPC: H01L21/306

Abstract: 本发明提供一种衬底处理装置、衬底处理系统、及数据处理方法。衬底处理装置(100)具备厚度测定部(8)、控制部(102)、及存储部(103)。厚度测定部(8)测定衬底(W)所含的对象物(TG)的厚度。控制部(102)通过对已学习模型(LM)输入输入数据，而从已学习模型(LM)输出处理条件。存储部(103)存储基于用于构建已学习模型(LM)的多个学习用资料(LD)而取得的基准数据(RE)。控制部(102)取得表示执行衬底处理前的对象物(TG)的厚度的处理前测定数据，基于表示对象物(TG)的厚度的目标值的目标数据与处理前测定数据产生输入数据。控制部(102)比较输入数据与基准数据(RE)，决定是否执行衬底处理。

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