工件保持装置及工件加工方法

    公开(公告)号:CN107662121B

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN201710623407.3

    申请日:2017-07-27

    Abstract: 本发明提供一种工件保持装置及工件加工方法。工件保持装置(10)包括:第一保持部(11),具有沿周向空出间隔地对圆环状的工件(W)的轴向端面进行吸附的三个吸附构件(22);及第二保持部(12),具有与所述工件(W)的内周面(Wd)或外周面(Wc)抵接的抵接构件(31),通过所述抵接构件(31)来限制所述工件(W)的径向的移动。

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