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公开(公告)号：CN1945905A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610128942.3
申请日：2006-09-04
Applicant: 株式会社巴川制纸所
IPC: H01R24/00 , H02N13/00 , H01L21/687
Abstract: 提供一种供电连接器和具有该供电连接器的静电卡盘装置，该供电连接器即使在使装置长时间在真空下动作的情况下，也能稳定地维持真空状态，能够在交替反复的进行大气和真空状态的作业时防止空气的出入、防止供电连接器与装置主体的接点部的真空放电、并且能够得到均一的品质。供电连接器(100)连接具有导线(31)和覆盖层(32)的引线(30)，所述覆盖层以使导线在前端延伸并露出的方式覆盖导线，其特征在于，具有：连接器主体(10)，其形成有所述引线所插入的插入孔(13)；供电针(20)，其安装于连接器主体、并被与所述导线电连接，在所述覆盖层的端部乃至从该端部延伸的导线的一部分所处的位置处，形成有充填着树脂(60)的树脂充填部(12)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100440637C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200610128942.3
申请日：2006-09-04
Applicant: 株式会社巴川制纸所
IPC: H01R24/00 , H02N13/00 , H01L21/687
Abstract: 提供一种供电连接器和具有该供电连接器的静电卡盘装置，该供电连接器即使在使装置长时间在真空下动作的情况下，也能稳定地维持真空状态，能够在交替反复的进行大气和真空状态的作业时防止空气的出入、防止供电连接器与装置主体的接点部的真空放电、并且能够得到均一的品质。供电连接器(100)连接具有导线(31)和覆盖层(32)的引线(30)，所述覆盖层以使导线在前端延伸并露出的方式覆盖导线，其特征在于，具有：连接器主体(10)，其形成有所述引线所插入的插入孔(13)；供电针(20)，其安装于连接器主体、并被与所述导线电连接，在所述覆盖层的端部乃至从该端部延伸的导线的一部分所处的位置处，形成有充填着树脂(60)的树脂充填部(12)。
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公开(公告)号：CN1319144C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200410070036.3
申请日：2004-08-05
Applicant: 株式会社巴川制纸所
Abstract: 提供一种绝缘性材料的保持力高，且对绝缘破坏的耐久性高的静电卡盘装置、用于该静电卡盘装置的电极片以及静电卡盘装置的使用方法。静电卡盘装置具有如下构成：将由由绝缘性材料构成的绝缘层(1)、通过该绝缘层在用于产生电位差的该绝缘层的两面设置的第1电极层(2)和第2电极层(3)、覆盖这2个电极层表面的绝缘性薄膜(4、5)构成的电极片(10)，使第2电极层位于底座一侧粘着在底座(7)上。将该静电卡盘装置的第1电极接地，向第2电极施加电压，从而将被吸附体吸附在绝缘性薄膜(4)上。
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公开(公告)号：CN1581460A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410070036.3
申请日：2004-08-05
Applicant: 株式会社巴川制纸所
Abstract: 提供一种绝缘性材料的保持力高，且对绝缘破坏的耐久性高的静电卡盘装置、用于该静电卡盘装置的电极片以及静电卡盘装置的使用方法。静电卡盘装置具有如下构成：将由由绝缘性材料构成的绝缘层1、通过该绝缘层在用于产生电位差的该绝缘层的两面设置的第1电极层2和第2电极层3、覆盖这2个电极层表面的绝缘性薄膜4、5构成的电极片10，使第2电极层位于底座一侧粘着在底座7上。将该静电卡盘装置的第1电极接地，向第2电极施加电压，从而将被吸附体吸附在绝缘性薄膜4上。
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