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公开(公告)号：CN108470596A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810122963.7
申请日：2018-02-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土岐贵弘 , 和田幸久 , 德田敏 , 林信和 , 吉牟田利典
IPC: G21K1/06
Abstract: 本发明提供一种衍射光栅的制造方法。该衍射光栅的制造方法具备如下工序：利用投影到多个单位衍射光栅的周期性的图案和多个单位衍射光栅生成莫尔条纹；以及基于所生成的莫尔条纹的形状，使多个单位衍射光栅中的至少1个单位衍射光栅相对于其他至少1个单位衍射光栅相对地旋转，从而调整成光栅所延伸的方向一致的状态。
