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公开(公告)号:CN102346138A
公开(公告)日:2012-02-08
申请号:CN201110212507.X
申请日:2011-07-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 松田直树
IPC: G01N21/39
CPC classification number: G01N21/39 , G01N21/3504
Abstract: 在使用TDLAS测量法的气体浓度测量装置中,将用于成分检测的具有预定频率的调制电流与用于波长扫描的锯齿状驱动电流叠加并且提供至第一激光二极管(LD)(1),而将与锯齿状驱动电流同步且沿相反方向变化的逆锯齿状驱动电流提供至第二LD(5)。从LD(1和5)发出的激光束分别被ND滤波器(3和7)衰减并经由半透半反镜(4)被混合,以照射到测量单元(9)内。光检测器(10)检测经历了目标成分的吸收的混合激光束。两个激光束的与波长扫描操作相关联的光量的变化彼此抵消,由此减小了在波长切换时出现在光检测器(10)的输出中的阶梯状变化。结果,防止了在相敏检测处理中出现高频噪声。
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公开(公告)号:CN104903703B
公开(公告)日:2018-01-12
申请号:CN201380069618.7
申请日:2013-12-25
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/39
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/42 , G01N21/3103 , G01N21/3504 , G01N2201/0612
Abstract: 提供一种即使在高速测定时也能进行精度良好的气体浓度等的测定的气体吸收分光装置以及气体吸收分光方法。将波长变化的激光照射于测定对象气体,求出表示通过了测定对象气体的所述激光的相对于波长的强度的变化的光谱线型。对于该光谱线型,在波长的各点在规定的波长宽度的范围内利用近似多项式进行多项式近似,基于各点的所述近似多项式的各项的系数,制作该光谱线型的包含零阶的n阶微分曲线。基于这样作成的包含零阶的n阶微分曲线,决定测定对象气体的物理量。
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公开(公告)号:CN102007397A
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN200880128659.8
申请日:2008-04-15
Applicant: 株式会社岛津制作所
CPC classification number: G01N21/39 , G01N21/276 , G01N2021/399 , G01N2201/1285
Abstract: 一种用于测量激光吸收光谱的分析装置,具备:激光光源,其产生作为测量光的激光,该测量光具有被试样气体中的测量对象成分吸收的特定波长;激光光源驱动控制装置,其控制对激光光源的驱动;光检测器,其配置于接收激光的位置处;试样气体的测量用气室,其配置于从激光光源到光检测器的激光的光路上;以及运算装置,其根据光检测器的检测信号算出试样气体中的测量对象成分的浓度。该分析装置还具备:至少一个校正用气室,其封入有校正用气体;以及校正用气室安装机构,其能够将校正用气室中的一个校正用气室可装卸地配置于激光光路上。
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公开(公告)号:CN111656166A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN201980010397.3
申请日:2019-01-15
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/39
Abstract: 本发明提供一种气体吸收分光装置,具备:波数可变激光光源(113);光检测器(114),检测从波数可变激光光源射出的、通过了测量对象气体的激光的强度;激光驱动机构(112),将驱动电流供给至波数可变激光光源(113),以使激光在规定的波数范围内反复扫描,在该装置中设置:压力关联值获取机构(117),获取作为测量对象气体的压力的值或者与该压力同步地变化的值的压力关联值;控制机构(131),控制激光驱动机构(112),以根据所述压力关联值使进行所述扫描的波数范围变化。由此,即使在测量对象气体的压力变化且要求高速响应性的情况下,也能够以从低压到高压的较宽的压力范围进行高精度的测量。
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公开(公告)号:CN102007397B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN200880128659.8
申请日:2008-04-15
Applicant: 株式会社岛津制作所
CPC classification number: G01N21/39 , G01N21/276 , G01N2021/399 , G01N2201/1285
Abstract: 一种用于测量激光吸收光谱的分析装置,具备:激光光源,其产生作为测量光的激光,该测量光具有被试样气体中的测量对象成分吸收的特定波长;激光光源驱动控制装置,其控制对激光光源的驱动;光检测器,其配置于接收激光的位置处;试样气体的测量用气室,其配置于从激光光源到光检测器的激光的光路上;以及运算装置,其根据光检测器的检测信号算出试样气体中的测量对象成分的浓度。该分析装置还具备:至少一个校正用气室,其封入有校正用气体;以及校正用气室安装机构,其能够将校正用气室中的一个校正用气室可装卸地配置于激光光路上。
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公开(公告)号:CN104903703A
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201380069618.7
申请日:2013-12-25
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/39
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/42 , G01N21/3103 , G01N21/3504 , G01N2201/0612
Abstract: 提供一种即使在高速测定时也能进行精度良好的气体浓度等的测定的气体吸收分光装置以及气体吸收分光方法。将波长变化的激光照射于测定对象气体,求出表示通过了测定对象气体的所述激光的相对于波长的强度的变化的光谱线型。对于该光谱线型,在波长的各点在规定的波长宽度的范围内利用近似多项式进行多项式近似,基于各点的所述近似多项式的各项的系数,制作该光谱线型的包含零阶的n阶微分曲线。基于这样作成的包含零阶的n阶微分曲线,决定测定对象气体的物理量。
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