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公开(公告)号：CN102983089A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210184156.0
申请日：2012-05-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/8845
Abstract: 本发明是有关于一种太阳电池单元检查装置，可在相同的位置，同时对反射影像与透射影像进行拍摄。太阳电池单元检查装置包括向半导体晶圆的第一面照射可见光的第一照射部；接收半导体晶圆所反射的可见光以取得半导体晶圆的反射影像的第一拍摄部；向与半导体晶圆的第一面相向的第二面照射红外光的第二照射部；接收透过半导体晶圆的红外光以取得半导体晶圆的透射影像的第二拍摄部；基于反射影像及透射影像，判定半导体晶圆是否存在缺陷的判定部。上述太阳电池单元检查装置的特征在于：包括配置在第一拍摄部及第二拍摄部之间的分束器。
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公开(公告)号：CN1702023B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200510070986.0
申请日：2005-05-19
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 北原大
Abstract: 本发明是有关于一种基板运载装置及具有该装置的基板处理装置。该基板运载装置，即使高温状态的基板也可顺利地对其进行搬运，缩短生产工程整体的生产时间(tact time)。在基板处理装置的卸载室中，设置有用于将托盘上所载置的基板夹紧并向回收托盘进行运载的夹盘部、驱动夹盘部的水平驱动机构。而且，在卸载室中设置有升降板，当夹盘部欲夹紧基板时，使基板从托盘上垂直移动并促成基板的夹紧，以及设置有驱动升降板的升降机构。
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公开(公告)号：CN1757790A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510072223.X
申请日：2005-05-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 北原大
IPC: C23C16/44 , H01L21/205
Abstract: 本发明是有关于一种成膜装置及利用成膜装置的成膜系统，能够缩短因对成膜装置的电极及其周边部进行清洁而造成的成膜装置停止时间，并可提高成膜工程的生产效率。在需要对等离子CVD装置的电极及其周边部进行清洁的情况下，利用交换装置拆除等离子CVD装置的开口密闭构件。然后，利用交换装置安装新品或清洁完毕的开口密闭构件，取代拆除的开口密闭构件。
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公开(公告)号：CN1702023A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510070986.0
申请日：2005-05-19
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 北原大
Abstract: 本发明是有关于一种基板运载装置及具有该装置的基板处理装置。该基板运载装置，即使高温状态的基板也可顺利地对其进行搬运，缩短生产工程整体的生产时间(tact time)。在基板处理装置的卸载室中，设置有用于将托盘上所载置的基板夹紧并向回收托盘进行运载的夹盘部、驱动夹盘部的水平驱动机构。而且，在卸载室中设置有升降板，当夹盘部欲夹紧基板时，使基板从托盘上垂直移动并促成基板的夹紧，以及设置有驱动升降板的升降机构。
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