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公开(公告)号：CN112628462A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010789984.1
申请日：2020-08-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种微型阀。在层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。微型阀(10)具有层叠构造，具备基座层(20)和隔膜层(30)。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口(23)以及用于使该气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过进行弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域(33)和多个刚体区域(34)的结构，所述变形区域(33)能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。
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公开(公告)号：CN112628462B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202010789984.1
申请日：2020-08-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种微型阀。在层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。微型阀(10)具有层叠构造，具备基座层(20)和隔膜层(30)。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口(23)以及用于使该气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过进行弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域(33)和多个刚体区域(34)的结构，所述变形区域(33)能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。
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公开(公告)号：CN112630359B
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202010854728.6
申请日：2020-08-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N30/20
Abstract: 提供一种气体供给方法以及气体取样器。气体取样器(30)具备能够与连接于样本罐(20)的导入配管(21)连接的连接部(C1)、取样环路(PL)、对连接部(C1)与取样环路(PL)之间的连接状态进行切换的切换阀(V1)、泵(31)以及控制装置(100)。取样环路与泵之间的缓冲流路(Pb)构成为能够选择性地与容积不同的多个缓冲罐中的任一个缓冲罐连接。缓冲流路的容积比导入配管的容积大规定量。控制装置使切换阀成为闭状态并且使泵工作，来使缓冲流路的内部成为负压，之后使泵停止并且使切换阀成为开状态，由此利用缓冲流路的负压来将试样气体填充到取样环路。
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公开(公告)号：CN112630359A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010854728.6
申请日：2020-08-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N30/20
Abstract: 提供一种气体供给方法以及气体取样器。气体取样器(30)具备能够与连接于样本罐(20)的导入配管(21)连接的连接部(C1)、取样环路(PL)、对连接部(C1)与取样环路(PL)之间的连接状态进行切换的切换阀(V1)、泵(31)以及控制装置(100)。取样环路与泵之间的缓冲流路(Pb)构成为能够选择性地与容积不同的多个缓冲罐中的任一个缓冲罐连接。缓冲流路的容积比导入配管的容积大规定量。控制装置使切换阀成为闭状态并且使泵工作，来使缓冲流路的内部成为负压，之后使泵停止并且使切换阀成为开状态，由此利用缓冲流路的负压来将试样气体填充到取样环路。
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公开(公告)号：CN112629954A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010854736.0
申请日：2020-08-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 提供一种气体取样器。气体取样器(30)具备：连接部(C1)，其能够与样本罐(20)连接；取样环路(PL)，其保持从样本罐(20)向连接部(C1)导入的试样气体；气动式的切换阀(V1～V6)，其对与取样环路(PL)连接的流路进行切换；控制配管(81)，其向切换阀(V1～V6)传递驱动压力；泵(31)，其用于对取样环路(PL)内进行抽吸；以及蓄压罐(80)，其将通过泵(31)的工作而产生的压力作为驱动压力的源压力进行蓄积。
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