公开(公告)号：CN116490767A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202180063141.6

申请日：2021-09-15

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 三品尚登 ,  冈本弘文 ,  田中隆志 ,  杉本贤 ,  早川昌志 ,  畠堀贵秀 ,  堀川浩司

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明的缺陷检查装置(100)包括：拍摄部(影像传感器(35))，拍摄检查对象(7)；以及显示部(6)，显示基于由拍摄部所拍摄的图像的图像。而且，缺陷检查装置(100)包括控制部(4)，所述控制部(4)受理对显示于显示部(6)的图像(静态图像(61))上的规定的关注区域(S)的标记(64)的设定。并且，控制部(4)构成为，基于由拍摄部所拍摄的图像来检查检查对象(7)的缺陷，并且使标记(64)的图像重叠于显示于显示部(6)的检查结果图像(叠加图像(65))的与规定的关注区域(S)对应的位置。

公开(公告)号：CN116818890A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310294792.7

申请日：2023-03-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 三品尚登 ,  堀川浩司 ,  杉本贤

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/06 ,  G01N29/34 ,  G01N29/22 ,  G01N29/44 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种可在用于缺陷的检测的多个图像间容易地对比位置的缺陷检测装置。缺陷检测装置(10)包括：激振部(12)，对被检查物体赋予振动；振动状态显示图像制作部(163)，利用光学部件对赋予了所述振动的所述被检查物体的表面上的测定区域内的振动状态进行测定，基于所述测定的结果，制作表示所述测定区域内的振动状态的一种或多种振动状态显示图像；光学图像获取部(164)，获取所述测定区域内的光学图像；图像显示部(19)，显示图像；以及显示控制部(166)，对于位于所述测定区域内的同一显示区域，进行将所述一种或多种振动状态显示图像及所述光学图像中的两个图像同时显示于所述图像显示部的控制。