流量计和流量控制装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101672674A

    公开(公告)日:2010-03-17

    申请号:CN200910176227.0

    申请日:2009-09-11

    CPC classification number: G01F1/6842 G01F15/00 G01F15/125 G05D7/0635

    Abstract: 本发明提供一种高精度的流量计和流量控制装置,该流量计设有:被测量流体流入的流入口(105)、被测量流体流出的流出口(205)、以及连通流入口(105)和流出口(205)的流路(5),流路(5)在第1弯曲部(11)弯曲,该流量计包括:第1多孔板(21),该第1多孔板(21)配置在流路(5)的第1弯曲部(11),且相对于第1弯曲部(11)前后的流路(5)的延伸方向倾斜地配置;以及流量传感器(8),该流量传感器(8)配置于与第1弯曲部(11)相比靠近流出口(205)侧的流路(5)的内壁,对流过流路(5)的被测量流体的流速或流量进行检测。

    流量传感器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101641576A

    公开(公告)日:2010-02-03

    申请号:CN200880006483.9

    申请日:2008-01-22

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F1/6842 G01F5/00

    Abstract: 本发明提供一种流量传感器,其组件通过有收纳传感器芯片(5)的矩形孔(5a)的平板基板(2a)和,向传感器芯片(5)导入测量对象气体的组件内流路的孔部(6)的平板基板(2b),以及有与组件内流路连通、在组件的同一端面上分布有构成测量对象气体的入口(3a)和出口(3b)的孔的平板基板(2c)层叠构成。

    流量计和流量控制装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101672674B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN200910176227.0

    申请日:2009-09-11

    CPC classification number: G01F1/6842 G01F15/00 G01F15/125 G05D7/0635

    Abstract: 本发明提供一种高精度的流量计和流量控制装置,该流量计设有:被测量流体流入的流入口(105)、被测量流体流出的流出口(205)、以及连通流入口(105)和流出口(205)的流路(5),流路(5)在第1弯曲部(11)弯曲,该流量计包括:第1多孔板(21),该第1多孔板(21)配置在流路(5)的第1弯曲部(11),且相对于第1弯曲部(11)前后的流路(5)的延伸方向倾斜地配置;以及流量传感器(8),该流量传感器(8)配置于与第1弯曲部(11)相比靠近流出口(205)侧的流路(5)的内壁,对流过流路(5)的被测量流体的流速或流量进行检测。

    流量计和流量控制装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101672675B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200910176228.5

    申请日:2009-09-11

    Abstract: 本发明提供一种流量计和具有其的流量控制装置,该流量计能够得到被测量流体的整流效果,减少压力损失。流量计(2)对被测量流体的流量进行测量,包括:被测量流体所流过的流路(5)、以及配置于流路(5)内的整流体(20),整流体(20)具有被测量流体的整流用孔,并且具有比垂直于流路(5)的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面积。流量控制装置(1)包括:流量计(2);控制阀(3);以及控制单元(4),该控制单元(4)通过流量计(2)所检测的流量的信息,对控制阀(3)进行控制,从而调整流过流量计(2)的流路(5)的流体的流量。

    流量计和流量控制装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101672675A

    公开(公告)日:2010-03-17

    申请号:CN200910176228.5

    申请日:2009-09-11

    Abstract: 本发明提供一种流量计和具有其的流量控制装置,该流量计能够得到被测量流体的整流效果,减少压力损失。流量计(2)对被测量流体的流量进行测量,包括:被测量流体所流过的流路(5)、以及配置于流路(5)内的整流体(20),整流体(20)具有被测量流体的整流用孔,并且具有比垂直于流路(5)的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面积。流量控制装置(1)包括:流量计(2);控制阀(3);以及控制单元(4),该控制单元(4)通过流量计(2)所检测的流量的信息,对控制阀(3)进行控制,从而调整流过流量计(2)的流路(5)的流体的流量。

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