公开(公告)号：CN108780728B

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201580085535.6

申请日：2015-12-25

Applicant: 株式会社尼康 ,  尼康计量公众有限公司

Inventor： 山田笃志 ,  铃木正平 ,  远藤刚 ,  渡部贵志 ,  史蒂芬·弗莱彻 ,  安德烈·丹尼索夫

IPC: H01J35/16 ,  H01J35/08 ,  H01J35/10

Abstract: 带电粒子装置具有以下部件：发射电子的电子发射部；被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；可进行内部排气，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；电线收纳部，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。

公开(公告)号：CN108780728A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201580085535.6

申请日：2015-12-25

Applicant: 株式会社尼康 ,  尼康计量公众有限公司

Inventor： 山田笃志 ,  铃木正平 ,  远藤刚 ,  渡部贵志 ,  史蒂芬·弗莱彻 ,  安德烈·丹尼索夫

IPC: H01J35/16 ,  H01J35/08 ,  H01J35/10

Abstract: 带电粒子装置具有以下部件：发射电子的电子发射部；被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；可进行内部排气，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；电线收纳部，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。

公开(公告)号：CN106134293A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201480077101.7

申请日：2014-03-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 远藤刚 ,  三浦聡

IPC: H05G1/32 ,  H01J35/06 ,  H05G1/00

CPC classification number: H05G1/32 ,  G01N23/04 ,  G05B19/4097 ,  G05B2219/35134 ,  G05B2219/49007 ,  H01J35/14 ,  H05G1/10

Abstract: X射线产生装置借由自阴极发射的电子束到达靶材而发射X射线，且具有在阴极及靶材之间相互串联连接且分别使电子束加速的第1及第2高电压电源，且第2高电压电源是以使第2高电压电源产生的第2高电压的变动成分的相位相对于第1高电压电源产生的第1高电压的变动成分的相位成为特定关系的方式输出第2高电压。

公开(公告)号：CN100529832C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200410007688.2

申请日：2004-02-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 福井达雄 ,  远藤刚

IPC: G02B21/06 ,  G01B11/00

CPC classification number: G03F9/7088

Abstract: 标记位置检测装置有一个用照明光对测量标记照明的照明光学系统和会聚从测量标记反射的光、以在图像拾取装置上形成测量标记的像的成像光学系统。标记位置检测装置通过处理图像拾取装置获得的图像信号测量测量标记的位移。标记位置检测装置有一个设置在照明光学系统中的光学元件，用于补偿图像信号的依赖于照明光波长的非对称性差异。

公开(公告)号：CN106134293B

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201480077101.7

申请日：2014-03-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 远藤刚 ,  三浦聡

IPC: H05G1/32 ,  H01J35/06 ,  H05G1/00

CPC classification number: H05G1/32 ,  G01N23/04 ,  G05B19/4097 ,  G05B2219/35134 ,  G05B2219/49007 ,  H01J35/14 ,  H05G1/10

Abstract: X射线产生装置借由自阴极发射的电子束到达靶材而发射X射线，且具有在阴极及靶材之间相互串联连接且分别使电子束加速的第1及第2高电压电源，且第2高电压电源是以使第2高电压电源产生的第2高电压的变动成分的相位相对于第1高电压电源产生的第1高电压的变动成分的相位成为特定关系的方式输出第2高电压。

公开(公告)号：CN1525142A

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：CN200410007688.2

申请日：2004-02-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 福井达雄 ,  远藤刚

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G03F9/7088

Abstract: 标记位置检测装置有一个用照明光对测量标记照明的照明光学系统和会聚从测量标记反射的光、以在图像拾取装置上形成测量标记的像的成像光学系统。标记位置检测装置通过处理图像拾取装置获得的图像信号测量测量标记的位移。标记位置检测装置有一个设置在照明光学系统中的光学元件，用于补偿图像信号的依赖于照明光波长的非对称性差异。