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1.

发明授权
X线装置及构造物的制造方法有权

公开(公告)号：CN105452804B

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201380076108.2

申请日：2013-05-10

Applicant: 株式会社尼康 , 尼康计量公众有限公司

Inventor： 渡部贵志 , 丹尼尔 , 希尔顿 , 山姆豪克

IPC: G01B15/04 , G01N23/04

Abstract: 提供一种可抑制检测精度降低的装置及构造物的制造方法。检测装置(1)是对被测定物(S)照射X线并检测通过被测定物的X线的装置，包含射出X线的X线源、保持被测定物的桌台(3)、检测从X线源射出并通过被测定物的穿透X线的至少一部分的检测器(4)、以及一边支承桌台一边引导桌台往与X线源的光轴(Zr)平行的方向移动的第1引导装置(5A)及第2引导装置(5B)。检测装置，其与光轴(Zr)平行、且用以规定桌台的移动的平面的引导面(GP)，通过检测器的穿透X线的检测区域(DR)内。

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