公开(公告)号：CN100517569C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200580026943.0

申请日：2005-08-09

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 贝濑浩二 ,  藤井透 ,  水野恭志

IPC: H01L21/027 ,  G01M11/02 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/70133 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/706

Abstract: 提供一种光学特性测量装置及方法、曝光装置及方法、及组件制造方法。由于光学特性测量装置(90)中设有光学系统单元(93)，因此可一并测量照明光学系统之照明形状及大小、投影光学系统之波面像差、照明光之偏振状态。因此，例如在以变形照明之一种的偏振照明进行曝光时，只要根据该测量结果调整各种光学系统，即可实现高精度的曝光。其中，该光学系统单元(93)将用以使照明光通过的开口部(97)、用以测量波面像差之微透镜阵列(98)、用以测量照明光之偏振光检测系统(99)选择性地配置于照明光之光路上。

公开(公告)号：CN101002300A

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200580026943.0

申请日：2005-08-09

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 贝濑浩二 ,  藤井透 ,  水野恭志

IPC: H01L21/027 ,  G01M11/02 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/70133 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/706

Abstract: 提供一种光学特性测量装置及方法、曝光装置及方法、及组件制造方法。由于光学特性测量装置(90)中设有光学系统单元(93)，因此可一并测量照明光学系统之照明形状及大小、投影光学系统之波面像差、照明光之偏振状态。因此，例如在以变形照明之一种的偏振照明进行曝光时，只要根据该测量结果调整各种光学系统，即可实现高精度的曝光。其中，该光学系统单元(93)将用以使照明光通过的开口部(97)、用以测量波面像差之微透镜阵列(98)、用以测量照明光之偏振光检测系统(99)选择性地配置于照明光之光路上。