公开(公告)号：CN104685414A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380050529.8

申请日：2013-07-31

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 徳久章

IPC: G02F1/37 ,  H01L21/027 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01S3/2391 ,  G01N21/88 ,  G01N2201/06113 ,  G03F7/70058 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/1618 ,  H01S5/0092 ,  H01S5/06216 ,  H01S5/06246 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/4087 ,  H01S5/4025

Abstract: 激光装置具备：激光发生部(1)，具有产生第1波长的激光的第1光源和产生第2波长的激光的第2光源；放大部，对第1波长以及第2波长的激光分别进行放大而输出第1放大光和第2放大光；波长变换部，将第1放大光进行波长变换为第1变换光，从第1变换光和第2放大光通过波长变换来产生输出光，或者，将第1放大光和第2放大光分别进行波长变换为第1变换光和第2变换光，从第1变换光和第2变换光通过波长变换来产生输出光；以及控制部，控制激光发生部的动作，控制部构成为通过控制来自第1光源的激光的输出和来自第2光源的激光的输出的相对定时，在波长变换部中的输出光的产生位置，调节第1变换光和第2放大光的时间上的重叠、或者第1变换光和第2变换光的时间上的重叠，控制输出光的输出状态。

公开(公告)号：CN103348286A

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201280008296.0

申请日：2012-03-23

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 尾下善紀 ,  徳久章

IPC: G02F1/37

CPC classification number: H01S3/10 ,  G02F1/3534 ,  G02F1/37 ,  G02F2201/16

Abstract: 紫外线激光装置具备输出红外线激光光的激光光输出部、将红外线激光光波长转换的波长转换部。激光光输出部具备输出波长为1900～2000nm的第1红外线激光光的第1激光光输出部、与输出波长为1000～1100nm的第2红外线激光光的第2激光光输出部。波长转换光学系具备第1红外线激光光射入并传播的第1系列I、与在第1系列传播后的激光光及从第2激光光输出部输出的第2红外线激光光合波后传播的第2系列II，射入波长转换光学系后的第1、第2红外线激光光被波长转换光学元件31～34依序波长转换，由此输出紫外线激光光。

公开(公告)号：CN104685414B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201380050529.8

申请日：2013-07-31

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 徳久章

IPC: G02F1/37 ,  H01L21/027 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01S3/2391 ,  G01N21/88 ,  G01N2201/06113 ,  G03F7/70058 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/1618 ,  H01S5/0092 ,  H01S5/06216 ,  H01S5/06246 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/4087

Abstract: 激光装置具备：激光发生部(1)，具有产生第1波长的激光的第1光源和产生第2波长的激光的第2光源；放大部，对第1波长以及第2波长的激光分别进行放大而输出第1放大光和第2放大光；波长变换部，将第1放大光进行波长变换为第1变换光，从第1变换光和第2放大光通过波长变换来产生输出光，或者，将第1放大光和第2放大光分别进行波长变换为第1变换光和第2变换光，从第1变换光和第2变换光通过波长变换来产生输出光；以及控制部，控制激光发生部的动作，控制部构成为通过控制来自第1光源的激光的输出和来自第2光源的激光的输出的相对定时，在波长变换部中的输出光的产生位置，调节第1变换光和第2放大光的时间上的重叠、或者第1变换光和第2变换光的时间上的重叠，控制输出光的输出状态。

公开(公告)号：CN103348286B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201280008296.0

申请日：2012-03-23

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 尾下善紀 ,  徳久章

IPC: G02F1/37

CPC classification number: H01S3/10 ,  G02F1/3534 ,  G02F1/37 ,  G02F2201/16

Abstract: 紫外线激光装置具备输出红外线激光光的激光光输出部、将红外线激光光波长转换的波长转换部。激光光输出部具备输出波长为1900～2000nm的第1红外线激光光的第1激光光输出部、与输出波长为1000～1100nm的第2红外线激光光的第2激光光输出部。波长转换光学系具备第1红外线激光光射入并传播的第1系列I、与在第1系列传播后的激光光及从第2激光光输出部输出的第2红外线激光光合波后传播的第2系列II，射入波长转换光学系后的第1、第2红外线激光光被波长转换光学元件31～34依序波长转换，由此输出紫外线激光。