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公开(公告)号:CN108907701A
公开(公告)日:2018-11-30
申请号:CN201810606341.1
申请日:2014-03-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 自动处理装置具有:多个处理装置,其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理;载置台,其将光学装置与固定光学装置的托盘一体地载置;臂式机器人,其从载置台将光学装置与托盘一体地提升,并将光学装置与托盘一体地相对于多个处理装置依次轮换,使完成了规定处理的光学装置与托盘一体地返回载置台。
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公开(公告)号:CN105263670B
公开(公告)日:2018-07-06
申请号:CN201480030167.0
申请日:2014-03-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 自动处理装置具有:多个处理装置,其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理;载置台,其将光学装置与固定光学装置的托盘一体地载置;臂式机器人,其从载置台将光学装置与托盘一体地提升,并将光学装置与托盘一体地相对于多个处理装置依次轮换,使完成了规定处理的光学装置与托盘一体地返回载置台。
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公开(公告)号:CN105263670A
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201480030167.0
申请日:2014-03-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 自动处理装置具有:多个处理装置,其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理;载置台,其将光学装置与固定光学装置的托盘一体地载置;臂式机器人,其从载置台将光学装置与托盘一体地提升,并将光学装置与托盘一体地相对于多个处理装置依次轮换,使完成了规定处理的光学装置与托盘一体地返回载置台。
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