公开(公告)号：CN101981406A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980111320.1

申请日：2009-07-24

Applicant: 株式会社尼利可

Inventor： 山田健夫 ,  山本猛 ,  山仓崇宽 ,  林真治 ,  河合慎吾

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/0625

Abstract: 本发明提供一种膜厚测定装置以及膜厚测定方法，膜厚测定装置具有光源(101)、分光传感器(109)、处理器(120)、和存储装置(130)，使来自上述光源的光垂直地入射到具有膜的测定对象面(501)，被测定对象面反射的光入射到上述分光传感器。上述存储装置存储每种膜厚的反射率分布的理论值和每种膜厚的颜色特性变量的理论值，上述处理器使用存储于上述存储装置中的每种膜厚的反射率分布的理论值或每种膜厚的颜色特性变量的理论值，根据上述分光传感器所测定的反射率分布，求出测定对象面的膜的膜厚。

公开(公告)号：CN103339469A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201180066602.1

申请日：2011-02-03

Applicant: 株式会社尼利可

Inventor： 山本昌弘 ,  山仓崇宽 ,  加藤裕雅 ,  中尾友纪

IPC: G01B15/00 ,  G01S13/88

CPC classification number: G01S13/06 ,  G01B15/04 ,  G01S13/325 ,  G01S13/88

Abstract: 本发明的宽度方向端部位置测定装置是对在由多个面包围的封闭空间内通过的带状体的宽度方向端部的位置进行测定的宽度方向端部位置测定装置。本发明的宽度方向端部位置测定装置具有：天线，其朝宽度方向端部放射电磁波，并且接收被该宽度方向端部反射的电磁波；信号处理部，其使用该被反射的电磁波的信息，求出该宽度方向端部的位置；以及使入射的电磁波散射的散射板，该天线设置于与求出位置的宽度方向端部相对的、该封闭空间的第1面，该散射板设置于与第1面相对的第2面。