公开(公告)号：CN101983418A

公开(公告)日：2011-03-02

申请号：CN200980111910.4

申请日：2009-02-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 长田厚 ,  永濑正明 ,  日高敦志 ,  平田薰 ,  松本笃咨 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一

IPC: H01L21/31 ,  B01J4/00 ,  H01L21/205

CPC classification number: B01J4/02 ,  B01B1/005 ,  B01J2219/00162 ,  B01J2219/00164 ,  B01J2219/00191 ,  B01J2219/00198 ,  B01J2219/00213 ,  B01J2219/00231 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45561 ,  F02D19/023 ,  F02D19/027 ,  F02M21/0239 ,  F02M21/06 ,  Y02T10/32 ,  Y10T137/6416 ,  Y10T137/6606

Abstract: 本发明提供具备气化器的气体供给装置，该气体供给装置由下列部件构成：液体收纳罐；使液体气化的气化器；对气化气体的流量进行调节的高温型压力式流量控制装置；以及加热装置，该加热装置对气化器、高温型压力式流量控制装置以及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的配管路径的期望部分进行加热，由此实现节能和小型化，并且不需要严格的气化器侧的温度控制，就能够稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。

公开(公告)号：CN101983418B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN200980111910.4

申请日：2009-02-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 长田厚 ,  永濑正明 ,  日高敦志 ,  平田薰 ,  松本笃咨 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一

IPC: H01L21/31 ,  B01J4/00 ,  H01L21/205

CPC classification number: B01J4/02 ,  B01B1/005 ,  B01J2219/00162 ,  B01J2219/00164 ,  B01J2219/00191 ,  B01J2219/00198 ,  B01J2219/00213 ,  B01J2219/00231 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45561 ,  F02D19/023 ,  F02D19/027 ,  F02M21/0239 ,  F02M21/06 ,  Y02T10/32 ,  Y10T137/6416 ,  Y10T137/6606

Abstract: 本发明提供具备气化器的气体供给装置，该气体供给装置由下列部件构成：液体收纳罐；使液体气化的气化器；对气化气体的流量进行调节的高温型压力式流量控制装置；以及加热装置，该加热装置对气化器、高温型压力式流量控制装置以及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的配管路径的期望部分进行加热，由此实现节能和小型化，并且不需要严格的气化器侧的温度控制，就能够稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。