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公开(公告)号：CN113632038A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024764.8
申请日：2020-04-16
Applicant: 株式会社富士金
Inventor： 平田薰 , 井手口圭佑 , 小川慎也 , 杉田胜幸 , 永濑正明 , 西野功二 , 池田信一 , 伊藤祐之
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制装置(10)，其具备：控制阀(11)；节流部(12)，其设置于控制阀(11)的下游侧；上游压力传感器(13)，其测定控制阀(11)与节流部(12)之间的压力(P1)；差压传感器(20)，其测定节流部(12)的上游侧与下游侧的差压(ΔP)；以及运算控制电路(16)，其与控制阀(11)、上游压力传感器(13)以及差压传感器(20)连接。
