公开(公告)号：CN118355477A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202280080770.4

申请日：2022-11-25

Applicant: 株式会社古屋金属

Inventor： 丸子智弘 ,  石黒好裕 ,  松村尊信 ,  大川裕也

IPC: H01L21/324 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明的目的在于提供一种热反射板，其热容较小，可节能化，具有高反射率，抑制对炉内的污染，且热响应性佳。本发明的热反射板是热反射板100，其具有：板状外装1；及反射体5，其配置在板状外装1的内部，外周围完全被板状外装1覆盖，且对入射至板状外装1的一表面的红外线进行反射；且反射体5是薄膜、板或箔，热反射板100的1mm2中的板状外装及反射体的厚度方向的合计热容为0.0004～0.0080(J/K)。

公开(公告)号：CN116457920A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202180077002.9

申请日：2021-12-17

Applicant: 株式会社古屋金属

Inventor： 丸子智弘 ,  石黒好裕 ,  松村尊信 ,  大川裕也

IPC: H01L21/324

Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有高反射率，能够抑制对炉内的污染，且寿命较长的氧化硅热反射板。本发明的氧化硅热反射板是具有氧化硅板1及反射体5的氧化硅热反射板100，该反射体5配置在氧化硅板1的内部，外周围由氧化硅板1完全覆盖，且将入射到氧化硅板1的一表面的红外线反射；且反射体5为薄膜、板或箔，反射体5的至少包含反射面的表面层含有Ir、Pt、Rh、Ru、Re或Hf，或包含含有选自Ir、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及Mo中的至少任一种的合金。