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公开(公告)号:CN100565868C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200610095737.1
申请日:2006-06-28
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L23/522
Abstract: 本发明是的半导体器件包括:第一导电层;第二导电层;形成在第一导电层和第二道电层之间,并且具有接触孔的绝缘层;以及连接到第一导电层和第二导电层,并且至少端部的一部分形成在接触孔内侧的第三导电层。在第二导电层和第三导电层彼此连接的接触孔附近,第三导电层不中间夹着第一绝缘层重叠于第二导电层,所以第三导电层的端部不形成在第一绝缘层上。因此,可以减少第三导电层的凹凸。
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公开(公告)号:CN1893058A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610095737.1
申请日:2006-06-28
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L23/522
Abstract: 本发明是的半导体器件包括:第一导电层;第二导电层;形成在第一导电层和第二道电层之间,并且具有接触孔的绝缘层;以及连接到第一导电层和第二导电层,并且至少端部的一部分形成在接触孔内侧的第三导电层。在第二导电层和第三导电层彼此连接的接触孔附近,第三导电层不中间夹着第一绝缘层重叠于第二导电层,所以第三导电层的端部不形成在第一绝缘层上。因此,可以减少第三导电层的凹凸。
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