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公开(公告)号:CN118414228A
公开(公告)日:2024-07-30
申请号:CN202280083872.1
申请日:2022-11-30
Applicant: 株式会社则武
IPC: B24B53/12 , B24B53/017 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种赋予研磨垫更高的平坦度的新颖的修整器。一种修整器,其为研磨用的垫表面的修整器,其中,具备与垫表面对置的直径DCD的圆形的修整面以及配置于该修整面的颗粒,颗粒共用修整面的中心且配置于直径PCDn的圆周区域,配置于圆周区域的颗粒的面积率为规定的1型、2型和3型中的任一种。
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公开(公告)号:CN308696855S
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN202330637100.5
申请日:2022-06-30
Applicant: 株式会社则武
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:抛光垫修整器的颗粒。
2.本外观设计产品的用途:用于修整半导体抛光机的抛光垫;要求保护的局部的用途:用于研磨抛光。
3.本外观设计产品的设计要点:在于修整器的颗粒的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。
5.产品上下对称,省略仰视图。
6.其他需要说明的情形其他说明:本外观设计是局部外观设计,虚线部分并不构成要求保护的部分。 -
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