公开(公告)号：CN104576485B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201410444513.1

申请日：2014-09-03

Applicant: 株式会社信科模具

Inventor： 中野昭生 ,  依田昌弘

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明提供能够用导电性硅橡胶加工细密的电极图案形状的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法、将该导电性硅橡胶制电极图案埋设在绝缘性硅橡胶的内部而成的具有伸缩性的全硅橡胶制静电吸盘及其制造方法。导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，将导电性硅橡胶组合物制成片材，与工序膜层叠后使导电性硅橡胶组合物的片材固化，没有切割工序膜而只将导电性硅橡胶片材切割为电极图案形状后，将多余的导电性硅橡胶片材从工序膜剥离除去。

公开(公告)号：CN104576485A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410444513.1

申请日：2014-09-03

Applicant: 株式会社信科模具

Inventor： 中野昭生 ,  依田昌弘

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明提供能够用导电性硅橡胶加工细密的电极图案形状的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法、将该导电性硅橡胶制电极图案埋设在绝缘性硅橡胶的内部而成的具有伸缩性的全硅橡胶制静电吸盘及其制造方法。导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，将导电性硅橡胶组合物制成片材，与工序膜层叠后使导电性硅橡胶组合物的片材固化，没有切割工序膜而只将导电性硅橡胶片材切割为电极图案形状后，将多余的导电性硅橡胶片材从工序膜剥离除去。