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公开(公告)号:CN119585675A
公开(公告)日:2025-03-07
申请号:CN202380055828.4
申请日:2023-06-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供导出新的参数,改善器件的可靠性的固化膜。本发明的一实施例提供以下固化膜,其由感光性树脂组合物固化而成,上述感光性树脂组合物包括:碱溶性树脂;以及光活性化合物(photoactive compound,PAC),在250℃条件下通过吹扫捕集(Purge&Trap)分析法测定60分钟的上述固化膜中,总出气(outgas)中酚系气体的含量为30%(v/v)以下。