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公开(公告)号:CN1784633B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200480012068.6
申请日:2004-05-06
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C08F220/18 , C08F220/06 , C08F220/14 , C08F230/02 , G03F7/033 , G03F7/038
Abstract: 本发明涉及一种碱溶性感光树脂组合物以及使用该感光树脂组合物的干膜抗蚀剂,更具体地涉及一种通过包括对于改善粘附性有效的丙烯酸酯树脂而具有优良的耐热性、耐化学性、和长期稳定性、以及对Cu或ITO(氧化铟锡)基底具有优良的粘附性的感光树脂组合物,以及使用该感光树脂组合物的光敏干膜抗蚀剂。
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