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1.

发明授权
传感器有权

公开(公告)号：CN112444273B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202010160792.4

申请日：2020-03-10

Applicant: 株式会社东芝(JP)

Inventor： 藤本明 , 富泽英之 , 汤泽亚希子 , 中村直文

IPC: G01D5/12

Abstract: 根据一个实施方式，涉及的传感器包括基体、第1可动构造体以及第1固定构造体。所述第1可动构造体包括多个第1可动电极。多个第1可动电极与基体之间的沿着第1方向的距离可变，所述第1方向是从基体朝向多个第1可动电极的方向。从多个第1可动电极中的一个朝向多个第1可动电极中的另一个的方向沿着与第1方向交叉的第2方向。所述第1固定构造体包括多个第1固定电极。多个第1固定电极中的一个位于多个第1可动电极中的所述一个与多个第1可动电极中的所述另一个之间。多个第1可动电极中的所述一个的沿着第1方向的第1可动电极长度比多个第1固定电极中的所述一个的沿着第1方向的第1固定电极长度短。由此，提供具有高检测能力的传感器。

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