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公开(公告)号：CN111491500B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202010068778.1
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社东芝 , 芝浦机械电子株式会社
IPC: H05K9/00 , H01L23/552
Abstract: 提供能够提高电磁波的衰减特性的电磁波衰减体及电子装置。根据实施方式，电磁波衰减体包括多层构件及磁性构件。所述多层构件包括多个磁性层和导电性的多个非磁性层。从所述多个磁性层中的一个磁性层向所述多个磁性层中的另一个磁性层的方向沿着从所述多层构件向所述磁性构件的第1方向。所述多个非磁性层中的一个非磁性层位于所述多个磁性层中的所述一个磁性层与所述多个磁性层中的所述另一个磁性层之间。所述磁性构件的沿着所述第1方向的厚度为所述多层构件的沿着所述第1方向的厚度的1/2以上。
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公开(公告)号：CN111436186B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202010026390.5
申请日：2020-01-10
Applicant: 株式会社东芝 , 芝浦机械电子株式会社
IPC: H05K9/00 , H01L23/552
Abstract: 提供能够使电磁波的衰减特性提高的电磁波衰减体及电子装置。根据实施方式，电磁波衰减体包括多个磁性层和导电性的多个非磁性层。从所述多个磁性层中的一个磁性层向所述多个磁性层中的另一个磁性层的方向沿着第1方向。所述多个非磁性层中的一个非磁性层位于所述多个磁性层中的所述一个磁性层与所述多个磁性层中的所述另一个磁性层之间。所述多个磁性层中的所述一个磁性层的沿着所述第1方向的第1厚度为所述多个非磁性层中的所述一个非磁性层的沿着所述第1方向的第2厚度的1/2倍以上。所述多个磁性层的数量为3以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118685742A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410334353.9
申请日：2024-03-22
Applicant: 芝浦机械电子株式会社
Abstract: 膜形成设备包括：转台，其设置在腔中；处理单元，其被构造为对由转台输送的工件执行等离子处理；内壁，其被构造为限定其中执行等离子处理的处理空间，并且具有以非接触方式面对转台的开口；外壁，其被构造为在具有间隙的情况下覆盖内壁的周边，并且被构造为形成具有以非接触方式面对转台的开口的排气空间；和排气端口，其连接到被构造为执行从处理空间到腔的外部的排气的排气装置，其中，处理单元是被构造为通过溅射来形成膜的膜形成部分，并且，外壁的两端与腔的侧表面接触，内壁的外周边的一部分与腔的侧表面分隔，使得反应气体不在排气空间中循环。
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公开(公告)号：CN113453523A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110327289.8
申请日：2021-03-26
Applicant: 芝浦机械电子株式会社
IPC: H05K9/00
Abstract: 本发明提供一种可提高电磁波的衰减特性的电磁波衰减体、电子装置、成膜装置及成膜方法。具体而言，根据实施方式，电磁波衰减体包含第1结构体。所述第1结构体包含：第1部件，包含交互设置在层叠方向即第1方向上的第1磁性层及导电性的第1非磁性层；第2部件，包含交互设置在所述第1方向上的第2磁性层及导电性的第2非磁性层；及第3部件，包含导电性的第3非磁性层。从所述第3部件向所述第1部件的方向是沿着所述第1方向。从所述第3部件向所述第2部件的方向是沿着所述第1方向。所述第1磁性层的沿着所述第1方向的第1磁性层厚度比所述第2磁性层的沿着所述第1方向的第2磁性层厚度更厚。
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公开(公告)号：CN111491500A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010068778.1
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社 , 东芝 , 芝浦机械电子株式会社
IPC: H05K9/00 , H01L23/552
Abstract: 提供能够提高电磁波的衰减特性的电磁波衰减体及电子装置。根据实施方式，电磁波衰减体包括多层构件及磁性构件。所述多层构件包括多个磁性层和导电性的多个非磁性层。从所述多个磁性层中的一个磁性层向所述多个磁性层中的另一个磁性层的方向沿着从所述多层构件向所述磁性构件的第1方向。所述多个非磁性层中的一个非磁性层位于所述多个磁性层中的所述一个磁性层与所述多个磁性层中的所述另一个磁性层之间。所述磁性构件的沿着所述第1方向的厚度为所述多层构件的沿着所述第1方向的厚度的1/2以上。
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公开(公告)号：CN111436186A
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN202010026390.5
申请日：2020-01-10
Applicant: 株式会社 , 东芝 , 芝浦机械电子株式会社
IPC: H05K9/00 , H01L23/552
Abstract: 提供能够使电磁波的衰减特性提高的电磁波衰减体及电子装置。根据实施方式，电磁波衰减体包括多个磁性层和导电性的多个非磁性层。从所述多个磁性层中的一个磁性层向所述多个磁性层中的另一个磁性层的方向沿着第1方向。所述多个非磁性层中的一个非磁性层位于所述多个磁性层中的所述一个磁性层与所述多个磁性层中的所述另一个磁性层之间。所述多个磁性层中的所述一个磁性层的沿着所述第1方向的第1厚度为所述多个非磁性层中的所述一个非磁性层的沿着所述第1方向的第2厚度的1/2倍以上。所述多个磁性层的数量为3以上。
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公开(公告)号：CN113453523B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202110327289.8
申请日：2021-03-26
Applicant: 芝浦机械电子株式会社
IPC: H05K9/00
Abstract: 本发明提供一种可提高电磁波的衰减特性的电磁波衰减体、电子装置、成膜装置及成膜方法。具体而言，根据实施方式，电磁波衰减体包含第1结构体。所述第1结构体包含：第1部件，包含交互设置在层叠方向即第1方向上的第1磁性层及导电性的第1非磁性层；第2部件，包含交互设置在所述第1方向上的第2磁性层及导电性的第2非磁性层；及第3部件，包含导电性的第3非磁性层。从所述第3部件向所述第1部件的方向是沿着所述第1方向。从所述第3部件向所述第2部件的方向是沿着所述第1方向。所述第1磁性层的沿着所述第1方向的第1磁性层厚度比所述第2磁性层的沿着所述第1方向的第2磁性层厚度更厚。
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