公开(公告)号：CN105575792A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510733793.2

申请日：2015-11-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 平林英明 ,  长岛裕次

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01B19/04 ,  H01L21/306 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/02096 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67075

Abstract: 实施方式的处理装置具备：收纳氢氟酸缓冲液的收纳部；使用上述氢氟酸缓冲液进行处理物的处理的处理部；将上述收纳部所收纳的上述氢氟酸缓冲液向上述处理部供给的供给部；将在上述处理部中使用过的上述氢氟酸缓冲液回收而向上述收纳部供给的回收部；对上述氢氟酸缓冲液的蒸发量进行运算的运算部；以及将包含氨和水在内、与上述运算出的氢氟酸缓冲液的蒸发量相同量的补充液向上述氢氟酸缓冲液供给的补充液供给部。

公开(公告)号：CN105575792B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201510733793.2

申请日：2015-11-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 平林英明 ,  长岛裕次

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 实施方式的处理装置具备：收纳氢氟酸缓冲液的收纳部；使用上述氢氟酸缓冲液进行处理物的处理的处理部；将上述收纳部所收纳的上述氢氟酸缓冲液向上述处理部供给的供给部；将在上述处理部中使用过的上述氢氟酸缓冲液回收而向上述收纳部供给的回收部；对上述氢氟酸缓冲液的蒸发量进行运算的运算部；以及将包含氨和水在内、与上述运算出的氢氟酸缓冲液的蒸发量相同量的补充液向上述氢氟酸缓冲液供给的补充液供给部。